真空ポンプのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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真空ポンプ(腐食性ガス) - 企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

製品一覧

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液封式(水封式)真空ポンプ LVFD/LVSD

【モータ 一体型】低騒音で耐久性に優れた、小型液封式(水封式)真空ポンプです。

ニクニの液封式(水封式)真空ポンプは安全性&経済性に優れています。 ■安全性 羽根車の各セルにおいて水がピストン運動することによりガスの吸引・圧縮を行うため、ミストや水蒸気を含んだガスの移送も全く支障はありません。ポンプ内部には金属接触がなく、液膜により完全にシールされているためモレがなく、爆発性のあるガスや腐食性の高いガスの吸引・圧縮に適します。 ■経済性 高効率設計により経済性を追求、大幅に消費動力を削減します。(2作動型に比べ30%の省エネが可能)液封構造によりガスのリークはありません。高価なガスの圧送、圧縮に効果的です。 ■低騒音 シャフト1回転で羽根車のセルの数だけの吸引・圧縮が連続的に行われるため、脈動・振動がありません。また消音セパレータとの組合せにより騒音は極めて低く押えられます。 ■耐久性 シンプル構造と堅牢構造に加え、ポンプ内にシール部以外の摺動部や機械的接触がないため、耐久性に優れています。側気口構造のため磨耗に強く、内気口型のものに比べて長期間高性能を維持します。 ■清浄性 油回転式のようなオイルミス卜の発生がなく、清浄な環境を守ります。

  • その他ポンプ

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クリーンプロセスでの御使用に最適!空冷ドライ真空ポンプ KTS型

省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】   ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • 真空ポンプ

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クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ 「KTS型」

省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ    

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。   【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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大学の研究室にも多数納入実績あり!空冷ドライ真空ポンプ KTS型

省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。   【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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VP型真空ポンプ

業界のニーズの多様化に対応しつづける信頼のVP型真空ポンプ

VP型真空ポンプは、他社に類の無い冷却技術を採用した多段ルーツ式ドライ・真空ポンプです。 ルーツ式で締切り運転を実現し、高真空ポンプを可能としたYKSの直接口-ター冷却方式は、独自の技術を基に研究開発された新技術の冷却方式です。 ルーツ式真空ポンプはローターとローター及びケーシングがわずかなクリアランスを保ち無接触で回転しています。その為に最大の特徴である”ドライ・オイルフリー型”となっています。 しかし、無接触で回転するためのわずかなクリアランスが、ガスの圧縮熱によって、ローター等が圧縮熱を除去しない限り、熱膨張によって減少、ついには接触することになります。 弊社の開発した直接口-ター冷却方式はローター内部を冷却液で直接冷却する構造を採用している為、常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つと同時に数々の優れた特徴を提供しています。 従来の冷却方式では熱膨張率の大きいステンレス製の真空ポンプの製作は、この熱膨張の大きさの為、製作が不可能でした。 当社では直接冷却方式の優れた特徴を生かし、このステンレス製の真空ポンプの開発に成功しました。腐食性ガスの吸引用として優れた性能を提供しています。

  • 真空ポンプ

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ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック/ULVAC】

LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能(オプション)です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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ルーツ式ドライ真空ポンプ

接ガス部フッ素樹脂ライニング施工!ハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に好適

『ルーツ式ドライ真空ポンプ』は、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを 施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは300μm以上で、ハロゲン系ガスや強酸性 ガスに対する耐久性があります。 精密仕上げ加工により、厚膜ライニングと極小クリアランスを実現。 半導体、製薬、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 【特長】 ■接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ■フッ素樹脂ライニング300μm以上 ■ハロゲン系ガス、強酸性ガスの吸入に好適 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

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