ルーツ式ドライ真空ポンプ ＶＰシリーズ
腐食性ガスに最適！
ドライ真空ポンプ全般で難しいとされている熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用したドライルーツ式真空ポンプで多くの納入実績を積んでいます。また、鋳造可能な耐食合金（Ni - Cr - Mo合金等）の製作も可能です。腐食でお困りのユーザー様は是非、ご検討下さい。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ(腐食性ガス) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
更新日： 集計期間:2026年04月08日～2026年05月05日
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ドライ真空ポンプの製品一覧
1～17 件を表示 ／ 全 17 件
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接ガス部材質「ステンレス」対応！ドライ真空ポンプTRMシリーズ
腐食性ガスに対応！信頼のステンレス製ドライ真空ポンプ
ケミカルプロセスに適したドライ真空ポンプ「TRM シリーズ」のラインナップに接ガス部材質「ステンレス」が加わりました。 酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能であり、溶剤等の凝縮液の回収が可能。 真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引にも好適です。 ドライ真空ポンプ単体で約1.7m³/minから6.3m³/minまでの排気速度をカバーすることが可能です。 【特長】 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
スクリュー式ドライ真空ポンプ『SDV-Rシリーズ』
【ライトケミカルプロセス向け】安価でよりマルチ用途に！軸受・軸シール・ギヤ等の長寿命化、低騒音、低振動を実現しました。
『SDV-Rシリーズ』は、ライトケミカルプロセス向けのスクリュー式ドライ真空ポンプです。 安価・省スペースで好評の「SDVシリーズ」を改良し、使用用途を拡大。 ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈するN2パージ機構を追加しました。 【特長】 ■サイドケースの構造変更 ・大気開放穴を閉じ、取扱ガスの外部漏れを防止 ■N2パージ機構追加 ・ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈 ■接ガス部にフッ素コーティングを施工 ★他にも多様な流体を移送するポンプを取り揃えています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：大晃機械工業株式会社 陸上事業部
- 価格：応相談
ルーツ式ドライ真空ポンプ
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工！ハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に好適
『ルーツ式ドライ真空ポンプ』は、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを 施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは300μm以上で、ハロゲン系ガスや強酸性 ガスに対する耐久性があります。 精密仕上げ加工により、厚膜ライニングと極小クリアランスを実現。 半導体、製薬、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 【特長】 ■接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ■フッ素樹脂ライニング300μm以上 ■ハロゲン系ガス、強酸性ガスの吸入に好適 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：サーフ工業株式会社
- 価格：応相談
厚膜フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプTRVシリーズ
酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(200μm)採用。独自の立形構造により凝縮液の回収を容易に。
ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収することができます。 また設置面積が小さいため、装置への組み込みにも適しています。 【特長】 ■200μ m の厚膜フッ素樹脂コーティングに対応 ■大気圧から締切運転まで安定した運転が可能 ■120°Cまでの高温ガスの吸引が可能 ■メカニカルブースターとの組み合わせにより幅広い真空域に対応 ■電動機は防爆対応も可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
テフロンダイアフラム型 ドライ真空ポンプ MD/MZシリーズ
抜群の耐食性と扱いやすさ
真空室内にテフロン系部品を採用しており、有機溶媒系ガや腐食性ガスの吸引などに、抜群の耐食性を発揮します。
- 企業：佐藤真空株式会社
- 価格：応相談
真空機器 ルーツ式ドライ真空ポンプ VPシリーズ
腐食性ガスの吸引に最適！
熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用したドライ真空ポンプ
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
スクロール型ドライ真空ポンプ
小型・軽量 全圧力領域(大気圧～到達圧力) 軽分子ガスの排気が可能、完全オイルフリー
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
『フッ素樹脂ライニング施工ルーツ式ドライ真空ポンプ』貸出機あり
薬品・食品開発に！腐食知らず！フッ素樹脂ライニングを施したドライ真空ポンプ！
『フッ素樹脂ライニング施工ルーツ式ドライ真空ポンプ』は、 真空ポンプ内に厚み150μm以上のフッ素樹脂ライニングを施工。 薬品や食品開発時に使われるハロゲン系ガスや 強酸性流体による腐食を抑制します。 貸出機をご用意していますので、ご希望の方はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■セラミック製液封ポンプより低価格 ■封液不要、なので性能が安定・ランニングコスト削減 ■ポンプの起動が早い ■医薬・試薬・農薬・化学・高機能材・非鉄金属・新素材などに ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
ルーツ式ドライ真空ポンプ『VPシリーズ』
熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
ＶＰ型真空ポンプ
業界のニーズの多様化に対応しつづける信頼のＶＰ型真空ポンプ
ＶＰ型真空ポンプは､他社に類の無い冷却技術を採用した多段ルーツ式ドライ･真空ポンプです。 ルーツ式で締切り運転を実現し、高真空ポンプを可能としたＹＫＳの直接口－ター冷却方式は、独自の技術を基に研究開発された新技術の冷却方式です。 ルーツ式真空ポンプはローターとローター及びケーシングがわずかなクリアランスを保ち無接触で回転しています。その為に最大の特徴である”ドライ･オイルフリー型”となっています。 しかし、無接触で回転するためのわずかなクリアランスが、ガスの圧縮熱によって、ローター等が圧縮熱を除去しない限り、熱膨張によって減少、ついには接触することになります。 弊社の開発した直接口－ター冷却方式はローター内部を冷却液で直接冷却する構造を採用している為、常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つと同時に数々の優れた特徴を提供しています。 従来の冷却方式では熱膨張率の大きいステンレス製の真空ポンプの製作は、この熱膨張の大きさの為､製作が不可能でした。 当社では直接冷却方式の優れた特徴を生かし、このステンレス製の真空ポンプの開発に成功しました。腐食性ガスの吸引用として優れた性能を提供しています。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ 「KTS型」
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ Rocker 300C
減圧ろ過、減圧乾燥に適した小型真空ポンプです。
ドライ真空ポンプRocker 300型の耐溶媒仕様です。 ポンプヘッド内およびダイヤフラムはPTFEコートされており、強酸、強アルカリを除く腐食性ガスに耐性があります。蒸留や濃縮、溶媒を使っての減圧ろ過など、幅広い用途にご使用いただけます。真空レギュレーターとトラップびんが標準で付属しています。
- 企業：柴田科学株式会社
- 価格：1万円 ~ 10万円
スクリュー式ドライ真空ポンプ『SDV-Rシリーズ』＜展示会出展＞
安価でよりマルチ用途に！軸受・軸シール・ギヤ等の長寿命化、低騒音、低振動を実現
『SDV-Rシリーズ』は、ライトケミカルプロセス向けのスクリュー式 ドライ真空ポンプです。 安価・省スペースで好評の「SDVシリーズ」を改良し、使用用途を拡大。 ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈する N2パージ機構を追加しました。 当社は、2024年2月20日（火）〜22日（木）、東京ビッグサイト西ホールにて 開催される「スマートファクトリーJapan 2024」に出展いたします。 【特長】 ■サイドケースの構造変更 ・大気開放穴を閉じ、取扱ガスの外部漏れを防止 ■N2パージ機構追加 ・ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈 ■接ガス部にフッ素コーティングを施工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：大晃機械工業株式会社 陸上事業部
- 価格：応相談
大学の研究室にも多数納入実績あり！空冷ドライ真空ポンプ KTS型
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
クリーンプロセスでの御使用に最適！空冷ドライ真空ポンプ KTS型
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
