更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化
『SDE-TXシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『FOOMA JAPAN 2023』で実機展示！高効率のドライ真空ポンプ MINK MVシリーズ
MINK MV シリーズは、世界の製造現場で実績を積む、高効率なドライ真空ポンプです。 動作原理は非接触式のため摩耗がありません。従って効率が高く、消費電力が抑えられています。また、プロセスガスの圧縮に潤滑油や封液などが不要なことからもコストが抑えられます。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
構造が堅牢で保守が容易！現在も広く使用されている真空ポンプ
当社では、構造が堅牢で取扱いが容易な『真空ポンプ』を取扱って おります。 スライド弁式一段の真空ポンプ「HI型」をはじめ、二段の「HT型」や プレート弁式の「FV型」をラインアップ。 HI2～8(HT-2～8)の機種については、エキセントリックロッドまわりが 全てオイルフリーの構造となっていますので、運転費が軽減できます。 【特長】 ■構造が堅牢で保守が容易 ■現地メンテナンス対応可能 ■メンテナンス時間が少ない ■稼働停止による減産コスト削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
構造が堅牢で取扱いが容易！真空蒸留や真空乾燥など広く使用されております
『HI型』は、往復動式の真空ポンプです。 型式は、スライド弁式・一段・横型水冷式で排気速度は、2.0～38.4m3/min。 到達圧力は、800～470Paになります。 低速のため風量当たりの重量は大きいのですが、構造が堅牢で取扱いが容易で あること、中間真空での効率が良いなどの利点があり現在も広く使用されています。 【特長】 ■トラブルフリー ■オイルフリー ■コンパクト ■構造が堅牢 ■取扱いが容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
構造が堅牢で保守が容易！広く使用されている真空ポンプをご紹介します
『FV型』は、プレート弁式・複動・横型水冷式の真空ポンプです。 排気速度は11～35m3/min、到達圧力は5065～4000Pa。 低速のため風量当たりの重量は大きいのですが、構造が堅牢で取扱いが 容易であること、中間真空での効率が良いなどの利点があり現在も 広く使用されています。 【特長】 ■トラブルフリー ■オイルフリー ■コンパクト ■構造が堅牢 ■取扱いが容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
省エネ「だけじゃない」！世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現
『MU-P/Hシリーズ』は、省エネでありながら、プロセス耐性に優れた ルーツ型ドライ真空ポンプです。 軽負荷から中負荷までのあらゆる製造装置に組み込みが可能です。 「MU-Hシリーズ」は、更なる耐プロセス性向上のため、HOT-N2パージの 搭載も可能です。 【特長】 ■プロセス耐性：ポンプ高温化、パージ増量 ■消費電力0.7kW：プロセス向けルーツ型ポンプ省エネタイプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
創業130年のドライ真空ポンプの老舗 Beckerベッカーのスクリュー式ドライ真空ポンプ メンテナンスフリーでランニングコスト低
創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー スクリュー式真空ポンプ VADS１５００ ドライ・オイルフリー、メンテナンスフリーのスクリュー式真空ポンプ しかも1420?/hの大風量！最大真空度 200 mbar 大きな設備の真空チャンバーや一括管理のセントラルシステムなどにご使用頂いております。 ベッカーエアーテクノ（株）はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点（東京・大阪・つくば・広島）日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。
ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ハードプロセス向け ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
メンテナンス時間が少なく、稼働停止による減産コスト削減可！環境に配慮した真空ポンプ
『HT型』は、スライド弁式・二段・横型水冷式の真空ポンプです。 水や油の後処理が不要で、低ランニングコストで非常に環境に配慮。 低速のため風量当たりの重量は大きいのですが、構造が堅牢で取扱いが 容易であること、中間真空での効率が良いなどの利点があり現在も広く 使用されています。 【特長】 ■トラブルフリー ■オイルフリー ■ウェイストフリー ■コンパクト ■構造が堅牢で、保守が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
構造堅牢で且つ細部にわたり部品の互換性があるので、保守が容易
大同往復動真空ポンプは、他の真空ポンプ（水封式や油回転式など）に比べて水や油の後処理が不要です。 また、非常に強固で頑丈な構造になっておりますので、 吸引されるガスに多少の樹脂分や水が混入していても問題ありません。
ベッカーエアーテクノ社が取扱うロータリーベーン式ドライポンプの総合カタログです。
完全ドライ・オイルフリーの真空・ブロワー・コンビネーションの各種ドライポンプを多数掲載しています。 【掲載製品】 ○ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ ○ドライ真空ポンプ VT4シリーズ ○ドライ真空ポンプ VTLFシリーズ ○ドライブロワーポンプ DT4シリーズ ○ドライブロワーポンプ KDT3シリーズ ○ドライブロワーポンプ DTLFシリーズ ○ドライコンビネーションポンプ T4シリーズ ○ドライコンビネーションポンプ DVT3シリーズ ほか ◆◆カタログご希望の方は資料請求よりお問合わせ下さい◆◆ ?ダウンロードから一部ラインナップがご覧いただます?
工業用真空ポンプシステムを多数掲載！お客様のニーズを満たすソリューションをご提供いたします。
当カタログは、当社が取り扱う産業分野向けの真空ポンプをご紹介しています。 ドライポンプとオイルシールポンプの両方を幅広く取り揃えており、 経済的で環境に配慮したプロセスを実現するお役立ちいたします。 コーティングから乾燥、冶金からリチウムイオン電池の製造にいたるまで、お客様のニーズを満たすソリューションをご提供いたします。 【掲載製品（抜粋）】 ■ドライ真空ポンプ GXS ■ドライ真空ポンプ EDS ■セントラルバキューム用ポンプ EOSi ■ドライ真空ポンプ EDC ■化学プロセス用ドライ真空ポンプ EDP ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
先端の技術が実現するシンプルさ！化学処理産業にも安全かつ柔軟に対応
『EDSシリーズ』は、空冷式と水冷式があり、過酷な産業や化学的条件に おいても高い汚染物質処理能力を備えているドライスクリュー真空ポンプです。 高速ポンプにより、必要に応じてスループットを増加できるほか、粗引き速度が 速いためポンプのダウンタイムが短く、作業が迅速化されて長い稼働時間が実現。 また、危険な環境でも安全に使用でき、世界的な防爆基準で認証済みです。 【特長】 ■プラグアンドプレイシステム ■革新的で頑丈なスクリュー設計 ■テーパ型不等ピッチドライスクリュー ■高速運転 ■ポンプの停止時間を短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工でハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に最適
ルーツ式ドライ真空ポンプ ＶＰシリーズは、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは150μｍ以上で、ハロゲン系ガスや強酸性ガスに対する耐久性があります。試薬、農業、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 【VP4シリーズ ラインナップ】 ■VP4-501 ■VP4-651 ■VP4-801 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
地球環境にベストマッチのルーツ式！低コストのドライ真空ポンプ
『FT6/CT6シリーズ』は、ルーツ式のドライ真空ポンプです。 パッケージレスで低コスト。ロータリーポンプの取替に最適です。 「CT6シリーズ」は水冷式、「FT6シリーズ」は空冷式です。 また「CT6シリーズ」をパッケージ化した「CT6-PCシリーズ」や メカニカルブースタと組み合わせた「MCT7シリーズ」も ラインアップしています。 【特長】 ■6段ルーツ式ドライ真空ポンプ ■オイルフリー・接ガス部ドライでクリーン排気 ■高真空・高効率・省エネ ■電源リサイクルによる性能違いを解消 ■パッケージ式は各種モードで運転可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【お問い合わせは正規代理店のエイチアールディーまで！】
