X線透過式2次元測定機『MVX-818』
層間ズレの分析や露光フィルムの測定などこれ1台で行えます
『MVX-818』は、X線カメラにより、多層基板のパターン透視確認や パターン座標測定を行う、X線透過式2次元測定機です。 露光から完成までの各工程で測定をすることにより、基板の膨張・収縮・ 変形の分析が可能。 CCDカメラも搭載している為、X線では測定できない露光フィルムなども 測定ができ、工程ごとの分析を1台で行う事ができます。 【特長】 ■多層基板の製造工程の前後に測定データをフィードバック ■X線カメラのズーム機能 ■大パターンから小パターンの高精度な測定が可能 ■安定した測定 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ムラキ
- 価格：応相談
