【特許技術】DLCを超えたスーパーDLCコーティング
FCVA方式により、スーパーDLC(水素基フリーのta-C膜)、Micc膜、各種金属膜を提供します
FCVA方(Filtered Cathodic Vacuum Arc)は、 PVD・CVD等既存のものとは異なる次元の高品質のコーティングを提供します。 また、成膜時に加熱を一切必要としない為、基材の変形等も起こらず、樹脂部品へのコーティングも可能です。 特にDLC膜(ta-C)は 1)限りなくダイヤモンドに近い(高いsp3結合) 2)非常に高い硬度・密着性・耐摩耗性 3)水素フリー 4)膜厚:数nm~10nm 5)内径にも成膜可 等の特徴があり、ハードディスク、精密金型、耐磨耗部品等様々な分野で使われております。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業:株式会社ナノフィルムテクノロジーズ ジャパン
- 価格:応相談