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加速電圧の違いによる変化を確認！蓄積されたノウハウにより適切な条件で分析！
EDX分析を行う際には元素の検出感度を上げる為に高い加速電圧で分析を 行っている方も多いのではないでしょうか？ しかし目的によっては必ずしも高加速電圧での分析が良いとは限りません。 白色LEDは青色LEDに黄色の蛍光体（粉体）を組み合わせて白色光を発生 させており、今回、この蛍光体について加速電圧を変え面分析を行うと、 どのような違いがあるのか確認しました。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■テスト試料（LED蛍光体） ■加速電圧の違いによる面分析像 ■モンテカルロシミュレーションによる電子線散乱領域からの考察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
正しい分析結果には適切な加速条件を！加速電圧の違いでEDX検出深さが変わります！
SEM-EDX分析時の加速電圧の違いによる検出感度についてご紹介します。 一般的なプリント基板（PCB基板）のAuめっき表面を分析した際、下層のNiが 露出していないにも関わらず検出される場合があります。 これは電子線の散乱深さに関連性があり、正しい分析結果を得るには適切な 加速条件を設定する必要があります。 今回、モンテカルロシミュレーションを用いて加速電圧の違いによる EDX検出深さについて確認を実施。 今回はほんの一例に過ぎませんが、正しい分析結果を得るには電子が どのように散乱しているか想像しながら加速電圧を設定することが大切です。 【テスト基板概要】 ■試料は一般的なプリント基板（PCB基板）のAuめっきパッドを用いた ■層構成はCu配線上にNiめっき/Auめっきが施されたもの ■Auめっきの厚みは断面観察より、212nm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
