SIウェハ - 企業2社の製品一覧
製品一覧
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モニターSiウェハー(パーティクル管理品）
各サイズのパーティクル管理品を取り揃えております。 スペック等ご要望に応じてご提供させて頂きます。
【モニタ用ウェハー】 プロセスチェックやパーティクルチェックに使用します。日常のプロセスの結果を定期的にモニターし、問題があれば条件（レシピ）にフィードバックをかけます。また、装置内のパーティクルチェックを定期的に行う場合に行う場合にも使います。 【テスト用ウェハー】 先行で流すウェハーなどのテスト用。フルプロセスを流さず、問題になっている工程のみを流すケースもあります。 モニター用、テスト用でご使用するパーティクル管理品を各種取り扱っております。
- 企業：株式会社トリニティー
- 価格：応相談
