更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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1軸50〜1800 µmのストロークのタイプ、静電容量センサーで高分解能動作
PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
0.1 nm分解能×0.02 %直線性。50-250 µmを摩擦ゼロで高速サーボ制御
PIHera P-620.Z／P-621.Z／P-622.Zは、垂直ストローク50・100・250 µmを0.1 nm分解能で駆動するZ軸ピエゾステージです。 静電容量センサが移動プラットフォームを直接計測し、リニア誤差を0.02 %に抑制。 ゼロバックラッシのフレクシャガイドは潤滑不要・発塵レスで、1 kHz級共振周波数とサブミリ秒応答を実現します。 アクチュエータはオールセラミック絶縁PICMA(R)で1000億サイクルの長寿命を実証済み。 干渉計、共焦点顕微鏡、半導体検査などサブナノ安定性と高速性を同時に求める装置のZ制御に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロークを実現。透過穴も確保し、幅広いご用途で利用可能。
『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。 また、LMガイドの採用によりロングストロークで、用途が広がります。 【特長】 ■2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現 ■当社Z軸を追加しても全高70mm ■透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、 顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造—XY軸、XYZ軸、XYθz軸動作が可能
P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩耗ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能をもち、動作軸は、XY軸、XYZ軸、XYθz軸のタイプがあります。 XY軸は100µmと200µm、Z軸は20µm、θzは2mradタイがあります。耐荷重50Nあり、光学検査、ウェハー検査、ナノポジショニング、計測、顕微鏡などアプリケーションに最適。 50 × 50mmの開口で透過光も可能。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
【真空で使える】エンコーダ内蔵の高分解能位置決めステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 真空チャンバー内でアウトガスが発生しづらい部品などを使用しているため、真空チャンバー内にステージを配置することができます。 40mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コントローラによって変わります）
【真空で使える】サブミクロン分解能のフィードバックステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージのテーブルの位置を検出して、コントローラに位置情報をフィードバックしているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 アウトガス対策として潤滑材、線材やモーター等を真空対応品に変更しているため、真空チャンバー内で使用可能です。 20mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コントローラによって変わります）
他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○OLYMPUS製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○LEICA製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
低価格で、設置面積わずか44 x 44mmのコンパクトな、リニアポジショニングシステム
P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
当社自動ステージ群の製品を組合せリニアスケールを用いてフルクローズ制御位置決めを可能にしました。特注品にも対応いたします。
位置決め装置を総合的にアドバイスし、御客様のニーズに会わせた製品を構築する会社です。 設計、製作、検査、納入まで一環した製品作りに取組みかゆいところに手が届く小回りのきく対応が出来ます。
高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの超音波モータ。装置に合わせカスタムメイドにも対応します。
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。 大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
高負荷ピエゾスタックアクチュエータ、開口部あり。センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備え
PICA(TM) Thruアクチュエータは、ピエゾ空洞積層型アクチュエータです。 センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備えています。 【特徴】 ○透過光アプリケーションまたは機械的与圧に適したセンター開口部 ○10-9サイクルを超えても高信頼性を維持 ○最大断面直径：56mm ○多様な形状を用意 ○サブミリセカンドの応答性、サブナノメートルの分解能 ○真空および非磁性対応バージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました！
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました！
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。
【エンコーダ内蔵】高分解能かつストロークが長い位置決めステージ
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-111又はFC-411との組み合わせ
