透明ヒートステージ
パネル形状の透明ガラスヒーターをユニット化
・透明なまま発熱するパネル形状のガラスヒーターをホルダに組み込み、各種サイズにてユニット化しました。 ・温度制御装置が付属しているので、届いたその日から直ぐに使えます。 ・部品ごとに在庫していますので短納期で対応します。特注にも対応可能です。
- 企業：株式会社ブラスト
- 価格：10万円 ~ 50万円
XYステージ(顕微鏡) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2026年01月14日～2026年02月10日
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XYステージの製品一覧
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表示件数
150mm開口高精度XYステージ V-738
動作量は102×102 mmで、リニアモータとリニアエンコーダで、最小動作0.02µm、最大速度500 mm/sを実現
PI Magリニアモータ駆動のV-738は、光学式インクリメンタルエンコーダによりシステム分解能1 nm XY方向それぞれ102 mmのストロークで、最大速度500 mm/s コアレスのため速度リップルが小さく、低速域でも滑らかな動作 150 mm四方の開口により、レーザ光学ヘッドや検査カメラを内部に配置でき、装置の省スペース化に貢献 動作直交度：±97 µrad、真直度±2 µmの動作精度と、100 Nの耐荷重 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
多軸デジタルピエゾコントローラ E-727 高速制御タイプ
最大4軸対応、データ記録・波形生成機能も標準搭載
E-727は最大4チャンネル対応のデジタル制御ユニットで、標準仕様に加え高出力電流モデル（最大1500mA）もラインナップ。 アナログ入力／出力端子に加え、デジタルI/O、センサーモニター出力、波形ジェネレーター機能などを搭載し、先進的なピエゾモーションアプリケーションに完全対応。 センサーバンド幅10kHz、サンプリングレート100kHzでの信号処理が可能で、動的計測や同期制御にも優れた性能を発揮します。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
リニアエンコーダ内蔵 高分解能位置決め装置
【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバックステージ】で高分解能に位置決めができる。
[新型フィードバックステージコントローラの特長] 従来品との互換性を残しつつ、 ・通信コマンド数の増加 ・ティーチング機能追加 ・USBインターフェース追加 ・パラメータ数増加 などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。 [高分解能位置決め装置の特長] フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。 フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。 [導入メリット] ・高い位置決め再現性による作業効率の向上 ・高分解能動作による微調整が可能 ・長い可動範囲による、試料の移動と微調整が1つのフィードバックステージで可能 詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードください。 □ステージ選定に役立つQ&A集を下記のリンクから無料ダウンロードできます。□
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）
リニアスケールフィードバックで高分解能・高再現性・高保持性を実現したステージ！百mmオーダーのストローク！
シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックス テージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。 ナノテクノロジーという言葉が生まれる前よりナノの位置決めを実現しておりました。そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。 ■真空対応システム特徴・説明 創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステージ！百mmオーダーのストローク！
シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されており、そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。 ■真空対応システム特徴・説明 創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
精密位置決めステージシステム
半導体製造検査装置、化学分析機器や医療機器などで高い実績を誇る高精度精密位置決めステージシステムの紹介。
シュネーベルガーの高度なエンジニアリングノウハウにより、お客様固有の用途やご要求に合わせた位置決めステージを自社で製造、供給しています。ヨーロッパで30年以上にわたり、世界の様々な分野のお客様へ個別仕様に合わせた高精度位置決めステージを供給し続けています。直動案内技術を熟知したシュネーベルガーが位置決め運動機構の設計開発に携わることで、お客様の装置として最高の性能を発揮させることができます。また、お客様は技術リソースをより有効にお客様の必要とする部分に充てることができ、より効率的な業務を可能とします。位置決めステージは直動だけでなく、回転機構なども含め、全てお客様の個別仕様に合わせた位置決めステージを供給しています。
- 企業：日本シュネーベルガー株式会社
- 価格：応相談
NM_真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム
超音波モータ標準ステージだけではあと一歩実現できない装置向けに、カスタムメイドでステージを設計・製作★宇宙での実績あり
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でステージを保持できます。 また高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ■ウェハ検査用レンズ駆動モジュール 小型のEDGEモータを使用したオートフォーカス・モジュール。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
- 企業：株式会社工苑
- 価格：応相談
真空対応サブミクロンフィードバックステージ 40mm動作
【真空で使える】エンコーダ内蔵の高分解能位置決めステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 真空チャンバー内でアウトガスが発生しづらい部品などを使用しているため、真空チャンバー内にステージを配置することができます。 40mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コントローラによって変わります）
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
真空対応サブミクロンフィードバックステージ 20mm動作
【真空で使える】サブミクロン分解能のフィードバックステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージのテーブルの位置を検出して、コントローラに位置情報をフィードバックしているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 アウトガス対策として潤滑材、線材やモーター等を真空対応品に変更しているため、真空チャンバー内で使用可能です。 20mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コントローラによって変わります）
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
BIXYステージSTDシステム（NK）「B30117」
速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティック！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○NIKON製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
真空対応10nmフィードバックステージ 微小回転タイプ
【真空対応】最小分解能0.00001°で±4°動作できるエンコーダ内蔵の微小回転ステージ
光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能微小回転ステージです。 0.00001°分解能でストロークは±4° アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 回転方向の調整用に適しています。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
真空対応サブミクロンフィードバックステージ 微小回転タイプ
真空中で使用可能！回転方向調整用ステージ
光学式リニアエンコーダを内蔵しており、ステージの可動部分の位置を検出することができるため、その位置情報をもとにコントローラが降るクローズドループ制御を行うため位置の再現性に優れています。 分解能はコントローラによって「0.00005」または「0.0001」分解能で 動作させることができます。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
10nmフィードバックステージ FS-3150X/XY
【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
真空対応5nmフィードバックステージ 40mm動作
真空中で使える 5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
真空対応10nmフィードバックステージ 40mm動作
【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
10nmフィードバックステージ FS-3200X/XY
【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を小さくできます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-514との組み合わせ
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
真空対応5nmフィードバックステージ 50mm動作
真空中で使える 5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作
【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位置決めが１台で可能だったり、広範囲のデータ（スペクトル等）が必要な場合に有効です。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
サブミクロンフィードバックステージ FS-3200X/XY
【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』または『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を小さくできます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-414またはFC-114との組み合わせ
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作
【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めができます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
真空対応10nmフィードバックステージ 昇降タイプ
【真空対応】リニアエンコーダ内蔵で10nm分解能のZ軸用位置決めステージ
光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 10nm分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を用意。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 テーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
10nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）
10nm分解能で位置決め！再現性に優れ、20～200mmストロークのステージ
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク 最大200mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御 コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。 ■可動タイプ 直動だけでなく昇降タイプや微小回転もラインナップしております。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
真空対応サブミクロンフィードバックステージ 昇降タイプ
真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能のZ軸用位置決めステージ！
光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-111との組み合わせ
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
サブミクロンフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）
サブミクロン分解能で位置決め！エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20～400mmストロークのステージ
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ステージコントローラにより、100nm（0.1μm）か50nm（0.05μm）分解能で動作します。 ■長ストローク 最大400mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御 コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、 コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。 ■可動タイプ 直動だけでなく昇降タイプや微小回転もラインナップしております。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製作もOK
当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および 真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。 フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、 ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。 【大気用システムの特徴】 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。 半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されています。 【真空対応システムの特徴】 創業以来、特注品の製作で得た真空対応に対するノウハウを元に 真空用途で高分解能及び高精度な再現性をご提供致します。 ※「PDFダウンロード」より総合カタログをご覧いただけます。 ご要望などお問い合わせフォームよりお気軽にご連絡ください。 また、下記リンクではカスタム品の製作例を紹介しております。
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