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XYZ軸 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

XYZ軸 Product List

1~3 item / All 3 items

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【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ XYZ軸

高速、高分解能で再現性に優れた位置決めを実現。ストロークは20/20/12μmから80/80/80μmまで取り揃えています。

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXYZ軸ステージです。 XYZ軸ステージはストロークが20/20/12μmから80/80/80μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 サンプルソフト(無償)も用意しています。 また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • その他機械要素
  • XYZ軸

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【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ XYZ軸

移動テーブルの中央に開口部(透過穴)を有するタイプのXYZ軸ステージです。顕微鏡との組み合わせや光透過型デバイスに最適です。

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXYZ軸ステージです。 ストロークが100/100/30μmから300/300/100μmまでの製品を取り揃えております。 PK開口付きタイプは移動テーブルの中央に開口部(透過穴)を有するタイプです。顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適です。 高速、高精度スキャニング動作で、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能です。微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。 使いやすいインターフェースで制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能です。 また、特殊環境(真空・非磁性など)のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • その他機械要素
  • XYZ軸

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XYZ軸300µm動作 精密位置決めステージ P-561~563

66 mm開口×XYZ軸最大300 µmをナノオーダーで精密位置決め

P-561〜563シリーズは、パラレルキネマティクス構造と静電容量式センサを採用したXYZ軸動作ピエゾナノポジショナ。 動作量は、XYZ 各100/200/300 µm(モデル別)で再現性は±2nm、リニアリティ:0.03%をもちます。 開口は、66×66 mmで透過光・レーザ光路を確保します。 ダイレクト駆動タイプは、XY軸45µm、Z軸15µm動作で、1000Hzの無負荷時共振周波数を持ち、高分解能で高速応答が実現します。 また、PICMAピエゾセラミックスは、オールセラミックスで絶縁されており対湿度性をもち、高信頼性、長寿命を確保します。半導体検査、超解像顕微鏡、フォトニクス調整などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • 直交ロボット
  • XYZ軸

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