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ロングストローク、しかも高分解能（5nm 更に高分解能も特注で可）
アパチャー付き ＸＹステージのKDT105は、機械的及び電気的変更のカスタム対応が可能です。高真空対応やクリーンルーム仕様納品も可能。また、非磁性オプションが可能で、可動範囲設定リミットスイッチ付です。XYZ-３軸ステージはMP 84-LMとなります。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプションも可能です。また、KDT180-LMは、モータ数は1軸につき1個です。オプションで2個まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
当社の製品は幅広く各方面で利用されております。
本製品は、超高真空における移動および測定等の実験で大気中において XYの平行移動を正確かつ再現性よく操作できるように設計され、精密に製作、組立が行われてます。
超高真空領域での使用が可能！中空構造の2軸の可動ステージ
『KXY-152』は、中空構造の2軸（X軸・Y軸）の可動ステージです。 駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。 内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用可能な ほか、有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを 有効に使用できます。 また、オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、 更に位置決め精度を高めることや自動での駆動が可能となります。 【特長】 ■マイクロメーターの移動量は±12.5mm ■超高真空領域での使用が可能 ■本体上部にM8のネジ穴を4箇所ご用意 ■アイボルトを取り付けることで吊り具との接続が簡単に ■他の直線導入機と組み合わせる事で搬送ラインを簡単調整 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度でプラットフォームの位置を直接測定！ステージの位置が機械的に安定するように維持します。
『U-723』は、電源オフ時、セルフロッキングドライブにより、 ステージの位置が機械的に安定するように維持されるPILine XYステージです。 電力消費と発熱量が大幅に削減。こうした特性は、デューティサイクルが 小さく、バッテリー駆動や熱に弱い用途にとって利点となります。 エンコーダによって軸の位置を測定し、光学リファレンススイッチにより 信頼性と再現性の高いモーションを可能にします。 【特長】 ■2軸での高速位置決め ■軽量で省スペース ■高ガイドの精度 ■センサー分解能 10nm ■待機時セルフロック、待機時の発熱なし ■低ノイズオペレーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
タテ、ヨコ400μmエリアの位置決をフル微動制御で実現！
400マイクロメートル×400マクロメートルのエリアが フル微動制御でスムーズな位置決めを実現した『ナノXYステージ』のご案内です。 【特長】 ・ナノ単位の位置決め精度 ・高速応答 ・高真空中で作動可能 ・省電力 ・振動ノイズが無いスムーズな動き ・コンパクト ※その他機能や詳細については、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。
