XYステージのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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XYステージ(真空) - メーカー・企業と製品の一覧

XYステージの製品一覧

1~8 件を表示 / 全 8 件

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パラレルキネマティック・ヘキサポッド H-811

コンパクトながら高精度なリファレンスクラスの6軸位置決めシステム

6軸自由度を持つパラレルキネマティックデザインで、単軸キネマティックシステムよりもコンパクトで剛性が強いヘキサポッド。 大きなダイナミックレンジで、作動ケーブルがなく、高い信頼性を提供。 また、ソフトウェアによるユーザー定義のピボットポイント設定が可能。 本体寸法:φ136×115mmの超コンパクト設計、ブラシレスDCモータ(BLDC)と長寿命ボールねじによるダイレクトドライブ式。 真空対応(10^-6hPa)バージョンも用意している。光位置合わせ、オートメーション、品質保証試験、試験機器での利用に。 【特長】 ■最小ヘキサポッド(真空オプションあり) ■トラベルレンジ:34mm/42° ■耐荷重:5kg ■アクチュエーター分解能:40nm ■最小インクリメンタルモーション:0.2μm ■再現性:±0.1μm ■ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む ■ピボットポイント(回転中心)の任意設定が可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

  • アクチュエーター
  • その他産業用ロボット
  • エンコーダー

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P-0xx.xxH PICA(TM) Thruアクチュエータ

高負荷ピエゾスタックアクチュエータ、開口部あり。センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備え

PICA(TM) Thruアクチュエータは、ピエゾ空洞積層型アクチュエータです。 センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備えています。 【特徴】 ○透過光アプリケーションまたは機械的与圧に適したセンター開口部 ○10-9サイクルを超えても高信頼性を維持 ○最大断面直径:56mm ○多様な形状を用意 ○サブミリセカンドの応答性、サブナノメートルの分解能 ○真空および非磁性対応バージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

  • csm_PI_P-010.xxH_2.jpg
  • PI_P-010.xxH.jpg
  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • ソレノイド・アクチュエータ

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ピーアイ・ジャパン株式会社 6軸ステージ

摩擦を抑えながら信頼性の高い動作を実現!マイクロ製造、医療技術、工具制御に使用可能!

ピーアイ・ジャパン株式会社では、6軸ステージを多数取り扱っています。 高速・高精度の小型ヘキサポッドの「H-811.I2」をはじめ、 高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド「H-840」、 高精度ファイバーアライメントシステム「F-712」などをラインアップ。 研究および工業用途、マイクロ製造、医療技術、工具制御に応用されています。 【特長】 〈小型ヘキサポッド「H-811.I2」〉 ■トラベルレンジ:±17mm/±21° ■負荷容量:5kg ■再現性:±0.06μm ■最大速度:20mm/s ■きわめて長寿命 ■真空対応バージョンあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • アクチュエーター
  • その他産業用ロボット
  • エンコーダー

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0.1nm分解能 ナノポジショナ P-620.1/629.1

1軸50〜1800 µmのストロークのタイプ、静電容量センサーで高分解能動作

PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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サブナノZ軸ナノポジショナ P-620.Z~P-622.Z

0.1 nm分解能×0.02 %直線性。50-250 µmを摩擦ゼロで高速サーボ制御

PIHera P-620.Z/P-621.Z/P-622.Zは、垂直ストローク50・100・250 µmを0.1 nm分解能で駆動するZ軸ピエゾステージです。 静電容量センサが移動プラットフォームを直接計測し、リニア誤差を0.02 %に抑制。 ゼロバックラッシのフレクシャガイドは潤滑不要・発塵レスで、1 kHz級共振周波数とサブミリ秒応答を実現します。 アクチュエータはオールセラミック絶縁PICMA(R)で1000億サイクルの長寿命を実証済み。 干渉計、共焦点顕微鏡、半導体検査などサブナノ安定性と高速性を同時に求める装置のZ制御に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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【応用事例:高精度ヘキサポッドシステム】ALMA望遠鏡の副反射鏡

ALMA天文台の50基のアンテナに採用!低気圧、最大50度の温度差、強風、埃、雨、海抜5000メートルという過酷な環境条件に適合

ピーアイ・ジャパン株式会社が取り扱う製品を応用した事例をご紹介します。 ALMA天文台の50基のアンテナは、当社の「高精度ヘキサポッド」を使用。 アタカマ砂漠の過酷な環境条件の下、電波望遠鏡の副反射鏡を高精度に 位置合わせするため採用されました。 低気圧、最大50度の温度差、強風、埃、雨、海抜5000メートルという過酷な 環境条件に適合。数ミリメートルまで高い精度で副反射鏡の位置を調節できます。 【事例】 <ALMA望遠鏡配列用50のヘキサポッドシステム> ■高精度精度ヘキサポッドを使用 ■アタカマ砂漠の過酷な環境条件の下、電波望遠鏡の副反射鏡を高精度に  位置合わせするため採用 ■サブミクロン秒角の分解能で位置決めが可能 ■過酷な環境条件に適合し、高剛性で頑丈なジョイントをALMA向け  ヘキサポッド用に開発 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • その他計測・記録・測定器

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高精度小型ヘキサポッド H-811.I2 パラレルキネマティック

高剛性&高精度、真空にも対応可能な小型6軸ステージ

H-811.I2は、全6軸において高精度な位置決めが可能な小型ヘキサポッドです。 XY±17mm、Z±6.5mmの移動範囲に加え、±21°の回転制御が可能。 パラレルキネマティック設計により、干渉や誤差が最小限に抑えられ、安定した動作を実現します。 特に真空や制限スペース下でも確実な動作が可能で、再現性や剛性を求める精密分野での信頼性に優れます。 最大5kgまでの荷重に対応。

  • その他産業用ロボット
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ハイパワーピエゾナノステッピングドライブ N-216

最大800Nの保持力と5nm分解能、ナノ位置決めに革新を

N-216は、最大800Nの保持力と0.03nm(オープンループ)/5nm(クローズドループ)の分解能を備えたピエゾステッピングアクチュエータです。 独自のPiezoWalk(R)技術により、フルステップモードとナノステッピングモードを切り替えながら、高速かつナノ精度の位置決めが可能。 非磁性・クリーン・真空環境に対応し、半導体製造、ウェハ検査、ナノリソグラフィなど、微細制御を要求されるアプリケーションに最適です。

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • その他機械要素

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