ストロークの長い、コンパクトなナノポジショニングシステムシリーズ。ストローク50～1800μm
単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ○ストローク50～1800μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、Z、XYZバージョン ○真空対応バージョンも用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
****** お気軽にお問い合わせください
納期
※お気軽にお問い合わせください
用途／実績例
応用例 ・干渉計 ・顕微鏡による検査 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・品質保証試験 ・半導体技術
カタログ（2）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。