XYステージのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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XYステージ(自動) - メーカー・企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2026年01月14日~2026年02月10日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

XYステージの製品一覧

1~30 件を表示 / 全 32 件

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カスタム自動XYステージ 「TXY200型」

自社の生産、検査、試験工程の自動化を安価に実現いたします

カスタム自動XYステージ「TXY200型」は、簡易カスタム自動XYステージ です。周辺機構(ステージ部、機器取付け部など)、ソフトウェア、ストローク、耐荷重などもカスタマイズ可能です。生産、試験工程の自動化に最適です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

  • 温湿度制御
  • 加熱装置
  • 鋳造機械
  • XYステージ

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自動XYステージ(ストローク100mm)

高精度自動XYステージを採用し、様々な検出器が搭載できる測定ユニット

自動XYステージの移動範囲は100mm×100mm。  高精度ステージを搭載した測定ユニットです。 ステージ制御をPCで行い測定位置までの移動、駆動プログラムより動作が可能です。 検出器の取付板を大きく設計しあらゆる検出器に対応(スペーサ別途)します。 検出器の上下の微調範囲は25mmとなります。

  • その他機械要素
  • XYステージ

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精密2軸卓上装置

精密2軸卓上装置

●簡単操作で自動で実現したセル生産向け及び精密検査向け卓上2軸システム装置です。 ●特殊表面処理バックラッシュレス機構の送りネジを採用し低騒音、高精度及びローコストを実現しました。 ●装置自身にコントローラを内臓し、AC100Vでパソコンからのプログラム指示により装置も簡単です。 ●ティーチング機能が標準装備なのでパソコンでプログラムを作成してアップロードして自動運転が出来ます。 ●駆動軸は2軸ですが内蔵されているコントローラは4軸ですので簡単に自動ステージを2軸追加し駆動することも可能です。 ●3軸直線補間(ステージを1軸追加した場合)、2軸円弧補間、連続補間移動も可能です。 ●現在モータはステッピングモータを使用していますが、エンコーダ入出力信号を監視出来るのでサーボモータに変更することも可能です。 ●ストローク変更、Zアタッチメント、駆動部品変更など特注仕様も容易に対応可能です

  • その他FA機器
  • 画像解析ソフト
  • 光学実験部品
  • XYステージ

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AT2自動XYステージ<圧縮、引張、曲げの自動試験>

デバイスや電子機器などの圧縮、引張、および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化する万能試験機用オプション

『AT2自動XYステージ』は、新規または既存の5900および6800シリーズ 万能材料試験機に取り付けて、デバイスや電子機器などの圧縮、引張、 および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化することができます。 このシステムは、幅広い材料、デバイス、電子機器を試験するために、 メディカル産業や電子産業で広く採用。 挿抜試験や精密な曲げ試験など、迅速に再現性のある結果を提供し、 柔軟性が高く、多くの試験片、デバイス、電子機器の試験などに 適応することができます。 【特長】 ■オペレーターを介在させずに複数の試験片の試験をすることが可能 ■サンプルの処理にかかる全体的な試験時間が短縮 ■熟練のオペレーターが他の重要なタスクに焦点を当てることができ、  能率を向上し結果を導きだすことができる ■繰り返し動作を最小限に抑え、試験システムとの物理的な相互作用を  減らし、オペレーターの負担を軽減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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精密薄型アライメントステージ 自動 一体型XYθステージ

電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適

全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、 評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。 【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』

  • その他機械要素
  • XYステージ

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カスタムステージ 総合カタログ

アプリケーションにあわせた特殊ステージ!

カスタムステージ 総合カタログでは、手動カスタムXYステージ「SXY200H」、角度傾斜ステージ「AG40」、カスタム自動XYステージ「TXY200型」、超薄型予熱ステージ「PB100」など、多数の製品を掲載しております。 【掲載内容】 ○カスタム手動XYステージ ○角度傾斜ステージ ○カスタム自動XYステージ ○特殊ステージ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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顕微鏡用自動XYステージ SCANシリーズ

ドイツ・メルツホイザー社製の高精度電動ステージです。 顕微鏡のみならず検査装置などへの組み込みもおすすめです。

ドイツ・メルツホイザー社の顕微鏡用自動XYステージは装置の自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されました。ほとんどのメーカーの正立/倒立顕微鏡へ取り付けが可能です。 最小移動範囲は75mm x 50mm、最大移動範囲は600mm x 600mmまでご用意致します。電動Zフォーカスドライブを組み合わせれば3軸制御可能です。ソフトウエア作成用のAPI & DLLを使用すれば簡単にオリジナル装置に組み込むことができます。

  • その他理化学機器
  • 光学顕微鏡
  • 欠陥検査装置
  • XYステージ

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特注システム製品

特注品やカスタム製品を弊社好みに設計製作させて頂きます。

御社のニーズに合わせて総合的にプロデュースします。 こんなご要望にお応えします! ▶機械設計、光学設計、画像処理、ソフトを全て一括で頼みたい。 ▶特注検査装置や特注位置決め装置を制作したい。 ▶今まで手動で作業していた物を自動化したい。 ▶ロングストロークタイプの自動ステージが欲しい。 ▶ナノ単位で位置決め装置を制作したい。 ▶アフターフォローやメンテナンスも対応出来る会社が良い。 ▶クリーンルームで使する高精度な防振台や特注の除振台が欲しい。 ▶シーケンサーで制御したい。

  • その他計測・記録・測定器
  • 画像処理機器
  • 試作サービス
  • XYステージ

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顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 不良箇所のNGマーキング】

顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 不良箇所のNGマーキング】

【ニーズ】 前工程の検査で良否判定したパレットに並んだ部品のうち、不良部品だけにディスペンサーでNGマークを付けたい。 【改善事例】 ディスペンサーとXYステージを連動させて、マップで指定した箇所のみ移動させNGマーキングします。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。

  • 光学顕微鏡
  • その他FA機器
  • その他顕微鏡・マイクロスコープ
  • XYステージ

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自動ステージ 水平面Z軸リニアボールガイド:KHEシリーズ

必要な機能だけに特化し、驚きの低価格を実現!!

水平面Z軸リニアボールガイド:KHEシリーズは、ベルトループ方式で省スペース、クサビ型Z軸ステージ比47%DOWNの低価格な自動ステージです。 ステージ面サイズ:40×40mmの「KHE04006」とステージ面サイズ:60×60mmの「KHE06008」をご用意しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

  • その他FA機器
  • XYステージ

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ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージ U-781 PILine

最大速度120mm/s、10nm分解能で高速・高精度走査を実現

U-781は、PILine(R)ピエゾリニアモータを採用したXYステージで、自己保持機能による安定性と潤滑不要の静音設計が特長です。 コンパクトかつフラットな設計で、顕微鏡下へのサンプルアクセスを妨げません。 LabVIEWやMATLAB、µManagerなど各種ソフトウェアに対応し、装置組込みや自動化に柔軟に対応できます。 サンプルホルダやZステージなどのオプションも豊富です。

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • 圧電デバイス
  • XYステージ

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BIXYステージSTDシステム(OL)A1「B30109A1」

XYステージ上面の突起をなくし、フルフラットにしました!

XYステージ上面の突起をなくし、フルフラットにしたため、従来の自動ステージよりさらに使いやすくなりました。 顕微鏡のXYステージを自動で動かすことが可能です。 付属のコントローラと操作部で、マニュアル動作が可能なジョグ移動、設定した一定量を動かすことが可能なステップ移動、設定した任意の座標へ次々と移動可能なティーチング動作、などが可能です。 ホームページにて無償配布しているアプリケーションにて任意の動作を、比較的簡単にプログラム可能です。 ステージがどのくらい移動したか、表示単位を設定して液晶画面にわかりやすく表示し、作業者が把握することが可能です。 【特徴】 ○イメージングソフトに対応 →対応ソフトウェアをお持ちの方は、さらに便利にご使用可能 ○K規格ホルダに標準で対応 →各社インキュベータやサーモプレートも搭載可能 ○OLYMPUS製倒立顕微鏡、一部正立顕微鏡(ステージ固定式顕微鏡)に搭載可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • スタンドその他オプション品
  • XYステージ

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スケール内蔵高精度位置決めステージシステム

当社自動ステージ群の製品を組合せリニアスケールを用いてフルクローズ制御位置決めを可能にしました。特注品にも対応いたします。

位置決め装置を総合的にアドバイスし、御客様のニーズに会わせた製品を構築する会社です。 設計、製作、検査、納入まで一環した製品作りに取組みかゆいところに手が届く小回りのきく対応が出来ます。

  • マイクロスコープ
  • 画像処理機器
  • その他
  • XYステージ

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ハイパワーピエゾナノステッピングドライブ N-216

最大800Nの保持力と5nm分解能、ナノ位置決めに革新を

N-216は、最大800Nの保持力と0.03nm(オープンループ)/5nm(クローズドループ)の分解能を備えたピエゾステッピングアクチュエータです。 独自のPiezoWalk(R)技術により、フルステップモードとナノステッピングモードを切り替えながら、高速かつナノ精度の位置決めが可能。 非磁性・クリーン・真空環境に対応し、半導体製造、ウェハ検査、ナノリソグラフィなど、微細制御を要求されるアプリケーションに最適です。

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • その他機械要素
  • XYステージ

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PIMag リニアモータXY軸ステージ『L-731/V-731』

産医療産業、レーザー切断、走査などに!高精度位置決め可能なリニアモータステージ

『L-731/V-731』は、クロスローラーガイドケージのクリープを防ぐ PIMag(R)リニアモータXY軸ステージです。 高剛性が必用な環境下では「L-731」、速度安定性が重要な アプリケーションには「V-731」が好適です。 産医療産業、レーザー切断、走査、バイオテクノロジーなどにご使用いただけます。 【特長】 ■トラベルレンジ:205x205mm(8インチ) ■インクリメンタルリニアエンコーダ(分解能1nm) ■クロスローラーガイドケージのクリープを防ぐ ■高剛性が必用な環境下ではL-731が好適 ■速度安定性が重要なアプリケーションにはV-731が好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • リニアモータ
  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
  • XYステージ

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最大8度のボイスコイル駆動TipTiltミラーステージ

衛星通信・ビーム安定化などのアプリケーションに最適な大角度駆動が可能なステージです。

※ビームの偏向角度 最大 8° ※共通の回転中心を持つ直交する2つのチップ/チルト軸 ※パラレルキネマティクスによる両軸の同一動特性 ※コンパクトなデザイン ※フレクシャーによる高耐久性と無摩擦 ※リニアエンコーダによる位置測定 Tip/tilt 動作レンジ: ± 35 (± 2°) mrad 最小移動動作量: < 1 μrad 再現性: < 2 μrad リファレンス精度: ≤ 50 μrad リニアリティ: < 0.2 % ステップ応答: < 20 ms(荷重等による) ミラー最大直径:1インチ 最大荷重:20g OEM供給用につき、複数台~数百台などカスタマイズもご相談ください。

  • csm_V-931.01-KUZ_4de1c1115a.jpg
  • アクチュエーター
  • ソレノイド・アクチュエータ
  • 光学実験部品
  • XYステージ

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特注システム製品 「基板加工機」

特注システム製品 「基板加工機」のご紹介です。

ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動(手動)ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら  きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、  製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを  出来るだけ少なくするシステムで製作している 詳しくはお問い合わせ下さい。

  • 基板加工機
  • XYステージ

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自動ステージ X軸リニアボールガイド:KXTシリーズ

必要な機能だけに特化し、驚きの低価格を実現!!

高耐荷重「アルミクロスローラステージ比2~4倍」、薄型「アルミクロスローラステージ比30%DOWN」、低価格「アルミクロスローラステージ比50%DOWN」のX軸リニアボールガイド:KXTシリーズです。 ステージ面サイズ40×40mmの「KXT04015」とステージ面サイズ60×60mmの「KXT06015」をご用意しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

  • その他FA機器
  • XYステージ

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高精度ステッピングモータ XY軸ステージ『PTシリーズ』

顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に好適!透過照明にも対応できるXY軸ステージ

『PTシリーズ』は、顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に適した 高精度・超薄型タイプの顕微鏡用XYステージです。 各社顕微鏡への搭載が可能で、透過照明にも対応できます。 またポジションコントローラCP-500、アナログジョイスティックCP-5Jを用いて、 拡大観察に関連する幅広い用途に対応することができます。 【特長】 ■すべての自動ステージに検査成績書を無償添付 ■仕様に合わせたフルカスタム対応可能 ■すぐに使える簡単アプリケーションをご用意 ■アプリケーションシステムとしても提案可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

  • ステッピングモータ
  • XYステージ

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特注システム製品 「リニアスケール付き顕微鏡」

特注システム製品 「リニアスケール付き顕微鏡」のご紹介です。

ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動(手動)ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら  きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、  製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを  出来るだけ少なくするシステムで製作している 詳しくはお問い合わせ下さい。

  • その他顕微鏡・マイクロスコープ
  • XYステージ

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特注システム製品 「微小部品組立装置」

特注システム製品 「微小部品組立装置」のご紹介です。

ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動(手動)ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら  きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、  製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを  出来るだけ少なくするシステムで製作している 詳しくはお問い合わせ下さい。

  • 組立機械
  • XYステージ

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特注システム製品 「干渉系露光装置」

特注システム製品 「干渉系露光装置」のご紹介です。

ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動(手動)ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら  きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、  製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを  出来るだけ少なくするシステムで製作している 詳しくはお問い合わせ下さい。

  • その他半導体製造装置
  • 試作サービス
  • レンズ
  • XYステージ

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特注システム製品 「分光器用ファイバー集光系」

特注システム製品 「分光器用ファイバー集光系」のご紹介です。

ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動(手動)ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら  きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、  製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを  出来るだけ少なくするシステムで製作している 詳しくはお問い合わせ下さい。

  • その他
  • XYステージ

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特注システム製品 「フィルム基板張合せ装置」

特注システム製品 「フィルム基板張合せ装置」のご紹介です。

ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動(手動)ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら  きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、  製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを  出来るだけ少なくするシステムで製作している ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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  • XYステージ

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特注システム製品 「偏光板を利用した輝度計測・評価装置」

特注システム製品 「偏光板を利用した輝度計測・評価装置」のご紹介です。

ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動(手動)ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら  きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、  製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを  出来るだけ少なくするシステムで製作している 詳しくはお問い合わせ下さい。

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最大1kgの重力補正 ボイスコイルフォーカスステージ V-308

最小動作10nmで、最大7mm移動、1kgまでの無電源保持 微細観察を支える高精度Z軸

V-308はボイスコイル直動とクロスローラーガイドを組み合わせたZ軸フォーカスステージです。 最小インクリメント10 nm、調整可能な7 mmストロークにより、光学系の焦点位置をナノレベルで最適化できます。 大口径レンズや長作動距離レンズを使用する多光子・深部組織イメージングで高い信頼性を提供します。 クロスローラーガイドの高剛性構造と10 nm分解能エンコーダが、7 mm全域で滑らかなナノポジショニングを保証。 詳細は PDF をダウンロード、またはお問い合わせください。

  • csm_V-308_753030_ISO2_bbe89fe339.jpg
  • csm_V-308_OH1_00541_7f8815d87f.jpg
  • csm_V-308_753030_KUZ_a3ff48af57.jpg
  • csm_PI-C-414_13030_5dbacccef4.jpg
  • その他機械要素
  • アクチュエーター
  • ソレノイド・アクチュエータ
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XYステージ ICF152タイプ『KXY-152』

超高真空領域での使用が可能!中空構造の2軸の可動ステージ

『KXY-152』は、中空構造の2軸(X軸・Y軸)の可動ステージです。 駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。 内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用可能な ほか、有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを 有効に使用できます。 また、オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、 更に位置決め精度を高めることや自動での駆動が可能となります。 【特長】 ■マイクロメーターの移動量は±12.5mm ■超高真空領域での使用が可能 ■本体上部にM8のネジ穴を4箇所ご用意 ■アイボルトを取り付けることで吊り具との接続が簡単に ■他の直線導入機と組み合わせる事で搬送ラインを簡単調整 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他加工機械
  • その他機械要素
  • XYステージ

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150mm開口高精度XYステージ V-738

動作量は102×102 mmで、リニアモータとリニアエンコーダで、最小動作0.02µm、最大速度500 mm/sを実現

PI Magリニアモータ駆動のV-738は、光学式インクリメンタルエンコーダによりシステム分解能1 nm XY方向それぞれ102 mmのストロークで、最大速度500 mm/s コアレスのため速度リップルが小さく、低速域でも滑らかな動作 150 mm四方の開口により、レーザ光学ヘッドや検査カメラを内部に配置でき、装置の省スペース化に貢献 動作直交度:±97 µrad、真直度±2 µmの動作精度と、100 Nの耐荷重 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • image_667.png
  • リニアモータ
  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
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ペルチェコントローラドライバ「TDC-1000Aシリーズ」

オートチューニング機能を搭載!電流制御でペルチェ素子を駆動するドライバ

『TDC-1000Aシリーズ』は好評の1chデジタルペルチェコントローラドライバTDC-1100,1200の後継機です。 新機能を搭載し、新たにラインナップに加わりました。 またTDC-1000Aは温度変換部・PID制御部・バイポーラ定電流駆動部・電源部が一体となっており、さらにパソコンとのインターフェイスを標準装備していますので、あらゆるシステムに対応することができます。 【特徴】 ○制御用センサーとしてPt100測温抵抗体または  サーミスタのどちらでも使用可 ○最大駆動電流を12Aまで拡大 ○温度補正機能を搭載 ○温度変換部・PID制御部・バイポーラ定電流駆動部・電源部を一体化 ○温度制御の制御安定度は±0.03℃と高精度 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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大型ガントリータイプXYステージ

ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。

リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

  • レーザーマーカー
  • XYステージ

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