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XYステージ(透過) - メーカー・企業と製品の一覧

XYステージの製品一覧

1~2 件を表示 / 全 2 件

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P-0xx.xxH PICA(TM) Thruアクチュエータ

高負荷ピエゾスタックアクチュエータ、開口部あり。センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備え

PICA(TM) Thruアクチュエータは、ピエゾ空洞積層型アクチュエータです。 センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備えています。 【特徴】 ○透過光アプリケーションまたは機械的与圧に適したセンター開口部 ○10-9サイクルを超えても高信頼性を維持 ○最大断面直径:56mm ○多様な形状を用意 ○サブミリセカンドの応答性、サブナノメートルの分解能 ○真空および非磁性対応バージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

  • csm_PI_P-010.xxH_2.jpg
  • PI_P-010.xxH.jpg
  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • ソレノイド・アクチュエータ

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開口50 mmマルチ軸ピエゾスキャナ P-517/527

摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造—XY軸、XYZ軸、XYθz軸動作が可能

P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩耗ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能をもち、動作軸は、XY軸、XYZ軸、XYθz軸のタイプがあります。 XY軸は100µmと200µm、Z軸は20µm、θzは2mradタイがあります。耐荷重50Nあり、光学検査、ウェハー検査、ナノポジショニング、計測、顕微鏡などアプリケーションに最適。 50 × 50mmの開口で透過光も可能。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

  • その他産業用ロボット
  • 圧電デバイス
  • アクチュエーター

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