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高さ1.5mの平板サンプルに成膜可能！大量生産に適したインライン式スパッタ装置
当社の『インラインコーティングシステム（スパッタ）』をご紹介します。 大量生産に適したインライン式スパッタ装置。 高さ1.5mの平板サンプルに成膜可能です。 金属膜をはじめ、セラミック膜、フラットパネルディスプレーなどに お使いいただけます。 【特長】 ■最大基板サイズ：<3m(L) x 1.5m(H) ■均一性：±5％以内 ■90°垂直搬送システム ■チャンバー数を任意に選定可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
スパッタとの組み合わせも可能！大量生産に適したインライン式FCVA装置
当社の『インラインコーティングシステム（FCVA）』をご紹介します。 大量生産に適したインライン式FCVA装置。 チャンバー数を任意に選定可能です。 また、スパッタとの組み合わせも可能。 ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構です。 【特長】 ■FCVAとスパッタを装備 ■ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構 ■DC、MF、RFのスパッタ電源が選択可能 ■自公転タイプサンプルフォルダー ■チャンバー数を任意に選定可能 ■最大基板サイズ：φ900mm x 500mm(H) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
