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6.8インチSEMI規格ウェハ対応！基本移載パターンが選択できる装置をご紹介
当製品は、カセットが通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能で相互間で移し替えることができる装置です。基本移載パターンは、同一スロット移載、スロット上下逆転移載、指定スロット移載などが選択可能。また、オプションとして、スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能です。 【特長】 ■6.8インチSEMI規格ウェハ対応 ■カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能 ■相互間で移し替えることができる ■スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オリフラ合わせはスイッチにて切替可能！中央部で偶数列のウェハを反転させるウェハ移載装置
当社が取り扱う、『ウェハ移載装置』をご紹介します。 左右2台のキャリアハンドラーにより、1～6個のキャリアを高速搬送。 オリフラ合わせは、上合せ、下合せがスイッチにて切替可能です。 中央部で偶数列のウェハを反転させることができ、奇数列反転は オプションとなっております。 【主な仕様】 ■対象ウェハ：4 OR 5 OR 6インチの専用機 ■移載キャリア数：1～6個任意 ■オリフラ合わせ：スイッチにて切替可能（上合せ、下合せ） ■移載時間：6個で9分以内 ■装置寸法：1600mmX725mmX1450mm（4インチ仕様） ■装置重量：150Kg ■電源：AC100V、15A ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクトな小口径薄物ウェハ用移載装置
『Sicホルダー移載機』は、横型酸化/拡散炉用のウェハーボートから プロセスカセットへの移し替え装置です。 受注後3ヶ月と立上調整3日でご提供いたします。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
オートドアFOSB、FOUPなどのキャリアに対応！自動的に枚葉で移載を行うシステム
本製品はφ300mm(12 )石英ガラスウエハを、ステージ1～ステージ2の キャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 タクトタイム・移載時間は6分30秒/25枚以下。 ウエハ移載仕様について、基本はカセット下部は取出、上段は収納です。 【各部仕様(抜粋)】 ■ステージ1(ローダー) ・装置正面左側ステージ ・対応キャリア：オートドアFOSB(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚) FOUP SEMI規格品(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚) ・センサ機能：カセット内のウエハ在荷確認用透過式マッピングセンサを設置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
