コンパクトな小口径薄物ウェハ用移載装置
『Sicホルダー移載機』は、横型酸化/拡散炉用のウェハーボートから プロセスカセットへの移し替え装置です。 受注後3ヶ月と立上調整3日でご提供いたします。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ■ウェハスペック：5インチ 210～600μm ■カセット：50枚 ピッチ：2.38mm PFA ■カセットチャージ：4カセット/8カセット ■ホルダー：200～220スロット ピッチ：2.38mm ■チャージ数：200枚 ■スループット：15分/200枚 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
当社は1977年の創業以来、半導体洗浄装置メーカーとして先端技術を 追求し、技術革新の著しい半導体業界の中でもメカトロ二クス及びクリーン 技術により高性能、高信頼性を誇る、 超LSIの洗浄装置を設計、製作し、 国内外の半導体メーカーに提供しています。 また、近年では半導体洗浄装置のノウハウを生かした精密部品洗浄装置の 提供も行っております。