イオンエネルギー測定器
エッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。
検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。 プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。 - イオンエネルギー分布 - イオンフラックス - イオンカレント - エレクトロンフラックスとエネルギー
- 企業：株式会社マツボー
- 価格：応相談
エネルギー測定器 - 企業2社の製品一覧
製品一覧
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表面エネルギー測定装置『iGC-SEA』
設定された湿度環境におけるサンプル測定をサンプル注入からデータ処理まで完全自動で行います！
iGC-SEA (インバース・ガスクロマトグラフィ)は、微粒子、薄膜、 繊維材料の表面物性測定のために開発された分析装置です。 製薬/工業の原材料の物理化学的性質の測定、 表面自由エネルギー、酸性・塩基性などの 極性値と相転移温/湿度など多くの物質の製品及び製造工程に 影響を及ぼす重要な要因を好感度で測定が可能です。 【測定項目】 ■酸塩基パラメータ ■表面自由エネルギーの分散性 ■表面自由エネルギーの均一/不均一性 ■温度/湿度環境によるエネルギーの変化 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社日本サイエンスコア
- 価格：応相談
