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技術ハンドブックプレゼント！種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果などをご紹介
当資料は、ウェハチャック上のゴミ／パーティクルを除去するための お掃除用ウェハについてご紹介している技術ハンドブックです。 フォトリソ工程やエッチング工程、スパッタ工程での優れた効果をはじめ、 種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果などを掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(一部)】 ■チャッククリーニングウェハ(CCW)とは ■CCWの紹介(開発の歴史・材質) ■CCWの製品紹介（種類・他社品比較の優位点・品質) ■Particle/Defect Removal Film について ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムを削減！導入効果や他社比較をまとめた技術ハンドブック進呈中
ウェハチャック上のゴミ／パーティクルを除去するためのお掃除用ウェハについてご紹介している技術ハンドブックです。 フォトリソ工程やエッチング工程、スパッタ工程での優れた効果をはじめ、種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果などを掲載！生産用シリコンウェハと同様、自動搬送で流すだけで効果を発揮します。 【掲載内容(一部)】 ■チャッククリーニングウェハ(CCW)とは ■CCWの紹介(開発の歴史・材質) ■CCWの製品紹介（種類・他社品比較の優位点・品質) ■CCWの導入効果 ※導入効果や他社比較をまとめた技術ハンドブック進呈！詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
生産用シリコンウェハと同様、自動搬送で流すだけで効果を発揮します。
『チャッククリーニングウェハ(CCW)』についてご紹介します。 当技術は、チャック上のゴミ/パーティクルを除去。簡単な使用方法で ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。 フォトリソグラフィーのほか、エッチングやスパッタリングの プロセスにおいて効果が期待できます。 【特長】 ■チャックの表面形状に合わせた3D加工も可能 ■専用のメンテナンスシートでクリーニングウェハの再生も可能 ■チャック上のゴミ/パーティクルを除去 ■生産用シリコンウェハと同様、自動搬送で流すだけで効果を発揮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
