技術ハンドブックプレゼント!種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果などをご紹介
当資料は、ウェハチャック上のゴミ/パーティクルを除去するための お掃除用ウェハについてご紹介している技術ハンドブックです。 フォトリソ工程やエッチング工程、スパッタ工程での優れた効果をはじめ、 種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果などを掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(一部)】 ■チャッククリーニングウェハ(CCW)とは ■CCWの紹介(開発の歴史・材質) ■CCWの製品紹介(種類・他社品比較の優位点・品質) ■Particle/Defect Removal Film について ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【その他の掲載内容】 ■CCWの導入効果 ・フォトリソ:(1)(2) ・エッチング:(1)(2)(3) ・スパッタ:(1)(2) ■まとめ ■会社概要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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