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ゲッタポンプ×サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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高真空対応 ゲッターポンプ「CapaciTorr HV(R)」

高真空領域(10-7~10-9Torrで繰り返し使用可能な非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ

CapaciTorr HVポンプは新しい多孔質性焼結型ゲッター合金ZAOを使用しています。ZAOは大量の大気、水、一酸化炭素、二酸化炭素を吸着する能力を持つため、CapaciTorr HVポンプは高真空の領域で繰り返し使用することができる初めてのゲッターポンプです。(10-7~10-9Torrレベル) 【特徴】 ○ 全ての活性ガスに対し高い排気速度 ○ 高真空でガス負荷が多い時は高温稼動する ○ 超高真空下での室温使用も可能 ○ 高い吸着能力と長寿命 ○ 高真空・超高真空の圧力域での一定した排気速度 ○ 小型デザインで軽量 ○ 磁場との干渉なし ○ オイルフリー、振動の発生なし ○ 電力消費を最小化(様式によって5-50ワット)

  • 真空ポンプ

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イオンポンプ融合型超真空用ゲッターポンプ「NexTorr(R)」

全てのガスを効率的に排気する 超軽量タイプのUHV対応ゲッターポンプ

NEXTorrポンプは、NEGとイオンポンプの技術を相補的に組み合わせた設計になっています。 小さなスパッタイオンポンプ(SIP)がNEGによって排気されなかった不活性ガスを取り除いている間、ゲッターカートリッジが主なUHVポンプとして働きます。 活性化ガス(水、水素、窒素等)向けのNEGポンプの大きな排気許容量と一体化されたデザインのために、NexTorrポンプは同様の排気速度の特徴を持つイオンポンプに比べ、10倍から50倍、小さく軽量になっています。 【特徴】 ○ 全ての活性ガス向けに高い排気速度と許容量を発揮 ○ 不活性ガスとメタンに対しての排気速度 ○ UHV-XHVでコンスタントな排気速度 ○ オペレーションの際、最低限の電力しか必要としない。 ○ 非常に小型で軽量なポンプ ○ 磁場との干渉を削減 ○ オイルフリーおよび振動フリー ○ 10-9 mbar以下の圧力を測定可能

  • 真空ポンプ

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