更新日： 集計期間:2025年04月09日～2025年05月06日
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残留水素でお悩みの方に！
0.2%BeCu合金の真空容器に小型のニップルNEGカートリッジを挿入したNEGポンプです。 活性化は中央部に配置したスパイラル状のタンタルヒーターで行います。 銅合金の低輻射率、高熱伝導性が活かせてポンプ自体からのガス（水素）放出が 従来型NEGポンプの1/10まで小さくなっています。 450℃活性時に要する電力はICF70タイプが22W、114タイプが50Wと省電力です。 0.2%BeCu合金を使った熱陰極ゲージの低ガス放出化技術製品を弊社ではマジック 商品と称したことから、同系列の本NEGポンプをマジックNEGポンプと命名しました。 マジックNEGポンプの最大の魅力は、 超低価格のCF70タイプおよび、 114タイプをご提供可能なことです。 消耗品としてご購入いただける金額ですので、 NEGを初めてご使用される お客様にもお試し頂けます。
高真空領域(10-7～10-9Torrで繰り返し使用可能な非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ
CapaciTorr HVポンプは新しい多孔質性焼結型ゲッター合金ZAOを使用しています。ZAOは大量の大気、水、一酸化炭素、二酸化炭素を吸着する能力を持つため、CapaciTorr HVポンプは高真空の領域で繰り返し使用することができる初めてのゲッターポンプです。（10-7～10-9Torrレベル） 【特徴】 ○ 全ての活性ガスに対し高い排気速度 ○ 高真空でガス負荷が多い時は高温稼動する ○ 超高真空下での室温使用も可能 ○ 高い吸着能力と長寿命 ○ 高真空・超高真空の圧力域での一定した排気速度 ○ 小型デザインで軽量 ○ 磁場との干渉なし ○ オイルフリー、振動の発生なし ○ 電力消費を最小化（様式によって5-50ワット）
チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。【アルバック／ULVAC】
チタンゲッタポンプ（GGT-3、PGT シリーズ）は、チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。昇華したチタンは周囲の壁面に大量の活性金属表面を作り、化学的に活性なガス（H2、N2、O2、H2O、CO、CO2）を吸着排気します。チタンの活性金属表面は、不活性ガス（He、Ne、Ar、CH4、C2H6、その他有機ガス）に対しては吸着能力を持たないので、ターボ分子ポンプやスパッタイオンポンプなどと組み合わせて使用します。 【特徴】 ○システムの設計に合わせて昇華したチタンの吸着面積を選べば、 大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上する ○T接続フランジ部にはナイフエッジ型メタルシール（UFC）で、 最高250℃までのベークアウトが可能 ○構成材料は全て超高真空に適した表面処理が施されている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
全てのガスを効率的に排気する 超軽量タイプのUHV対応ゲッターポンプ
NEXTorrポンプは、NEGとイオンポンプの技術を相補的に組み合わせた設計になっています。 小さなスパッタイオンポンプ（SIP)がNEGによって排気されなかった不活性ガスを取り除いている間、ゲッターカートリッジが主なUHVポンプとして働きます。 活性化ガス(水、水素、窒素等）向けのNEGポンプの大きな排気許容量と一体化されたデザインのために、NexTorrポンプは同様の排気速度の特徴を持つイオンポンプに比べ、10倍から50倍、小さく軽量になっています。 【特徴】 ○ 全ての活性ガス向けに高い排気速度と許容量を発揮 ○ 不活性ガスとメタンに対しての排気速度 ○ UHV-XHVでコンスタントな排気速度 ○ オペレーションの際、最低限の電力しか必要としない。 ○ 非常に小型で軽量なポンプ ○ 磁場との干渉を削減 ○ オイルフリーおよび振動フリー ○ 10-9 mbar以下の圧力を測定可能
取り付け方向自由！ピルNEGを使った極高真空発生向NEGポンプ
『マジックNEGポンプ』は、極高真空（XHV）領域まで排気能力を拡張させた 新しい構想のゲッターポンプです。 ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料と構造を 再構築しました。 当製品に補助ポンプのターボ分子ポンプ（開放系）や小型イオンポンプ（封止切系）と 組み合わせることで、大気圧から排気を開始して24h以内に10^-10Pa台のXHVを 発生させることができます。 【特長】 ■NEGをポンプケーシングの壁面に配置 ■超低ガス放出0.2%BeCu合金製ポンプケーシング ■実効排気速度を10^-10Pa台まで拡張 ■COに対する排気速度が大きい（H2とほぼ同等） ■SUS製ICF070&114フランジに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。
ゲッターポンプ Insi torr「Fast Pump」は、サエスグループが開発した非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。 このポンプは、アプライドマテリアルズ製PVD、アルミニウムスパッターのために開発されました。 このポンプの開発によってチャンバーがベントしてから復帰して操業に戻るまでの時間が大幅に短縮されます。 【特徴】 ○インシトールファーストポンプをチャンバー内に設置することで ダウンタイムを11時間から7時間に短縮される ○既存設備に改造取付が可能 ○フットプリントに影響を与えず、アップグレーディングに威力を発揮 ○パーティクル特性やフィルム特性に何らネガティブな影響を与えない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
大気開放と活性化を繰り返しても排気速度が低下しません！
当社では、150℃、1.5～12時間のベーキングで水素や一酸化炭素を 排出する非蒸発型ゲッターポンプを取り扱っております。 加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの 超高真空ポンプとして適しております。 【特長】 ■完全オイルフリー ■活性化以外は電源を使用しない ■原理的に10-10Pa台まで排気可能 ■無振動・無騒音 ■小型軽量 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
