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大型化するFPD基板(G11)に対応！横搬送共に無摺動を実現した角型ゲートバルブ
『Gate valve T-Motion』は、バルブサイズ(幅×高さ)の制約無く装置設計者の 思いのままに設定可能な角型ゲートバルブです。 独自のバルブモーションにより、開閉速度を落とすことなく低振動化を 実現しました。 バルブサイズを超えた部品の共通化により、低価格な製品となっております。 【特長】 ■低振動 ■低パーティクル ■低価格 ■さまざまな世代にマッチ ■大型化するFPD基板(G11)に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体やFPDなどの製造プロセスに活躍！多様なニーズに応えるラインアップを掲載
当社は、半導体やFPDなどの製造に用いられる 『超高・高真空用バルブ』の設計・製作を手がけています。 ただいま、各種製品を収録した“総合カタログ”を進呈中です。 微細化する半導体プロセスに対応した「True L-Motion Gate Valve」をはじめ、 大型化するFPD基板に対応した「Gate valve T-Motion」や、 少ないガス流量でも圧力制御可能な「APC Penduroll Valve」など お客様のご要望に応えるラインアップを掲載しています。 【掲載内容】 ◎超高・高真空用バルブのご案内 ◎搬送ゲートバルブ ◎排気系ゲートバルブ ◎オプション ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
微細化する半導体プロセスに対応！次世代型角型ゲートバルブのご紹介
『True L-Motion Gate Valve』は、低振動の次世代型角型ゲートバルブです。 OPEN/CLOSE動作時の低振動化のほか、新機構により低発塵化を 実現しました。 オプションにより、シール材質の変更や表面処理の追加が可能です。 【特長】 ■微細化する半導体プロセスに対応 ■低振動：OPEN/CLOSE動作時の低振動化を実現 ■低パーティクル：新機構により低発塵化を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
