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ゲートバルブ×株式会社ブイテックス - メーカー・企業と製品の一覧

ゲートバルブの製品一覧

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角型ゲートバルブ『Gate valve T-Motion』

大型化するFPD基板(G11)に対応!横搬送共に無摺動を実現した角型ゲートバルブ

『Gate valve T-Motion』は、バルブサイズ(幅×高さ)の制約無く装置設計者の 思いのままに設定可能な角型ゲートバルブです。 独自のバルブモーションにより、開閉速度を落とすことなく低振動化を 実現しました。 バルブサイズを超えた部品の共通化により、低価格な製品となっております。 【特長】 ■低振動 ■低パーティクル ■低価格 ■さまざまな世代にマッチ ■大型化するFPD基板(G11)に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ゲートバルブ『True L-Motion Gate Valve』

微細化する半導体プロセスに対応!次世代型角型ゲートバルブのご紹介

『True L-Motion Gate Valve』は、低振動の次世代型角型ゲートバルブです。 OPEN/CLOSE動作時の低振動化のほか、新機構により低発塵化を 実現しました。 オプションにより、シール材質の変更や表面処理の追加が可能です。 【特長】 ■微細化する半導体プロセスに対応 ■低振動:OPEN/CLOSE動作時の低振動化を実現 ■低パーティクル:新機構により低発塵化を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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