直線導入機（シャフト型） ZLDP/ZLDM/ZLDSシリーズ
真空チャンバー内での直線移動に使用する直線導入機です。
直線導入機（シャフト型） ZLDP/ZLDM/ZLDSシリーズは真空チャンバー内での直線移動に使用する直線導入機です。廉価版から高精度型まで種々取り揃えております。詳しくはお問い合わせください。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：応相談
ゲートバルブ(真空チャンバー) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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ゲートバルブの製品一覧
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直線導入機（中空型） ZLTMシリーズ
各種線源やトランスデューサなどを装着し真空中を移動させられます。
直線導入機（中空型） ZLTMシリーズはチャンバー取付けフランジとシステムフランジがベローズで接続された、中空型の直線導入機です。各種線源や、トランスデューサなどを装着し、真空中を移動させることができます。詳しくはお問い合わせください。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：応相談
Lゲートバルブ SERIES 92.0
半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ
-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
角型ゲートバルブ
「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！
当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。 【特長】 〈デュアルゲートバルブ〉 ■完全水平移動の為、Oリングの擦れが無い ■左右の独立駆動によりPM/TMチャンバーのメンテナンス性が向上 ■コンパクト設計(シングルバルブと同サイズ) ■開口45×450mmに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ナカンテクノ株式会社
- 価格：応相談
加工事例【半導体製造装置向け】ゲートバルブ
大手装置メーカー様にゲートバルブ製品数千台の納入実績あり！ 半導体Φ300ｍｍ／液晶G10_3000mmサイズにも対応可能！
大型マシニングセンタにより、深堀形状となるゲートバルブ本体や構成製品を、高精度に製作致します。 これまで多数の製品を出荷し、大手製造装置メーカー様より高い評価をいただいております。 半導体・液晶製造装置に欠かせないゲートバルブ製品を高精度に 製作致します。 また真空チャンバーや上部・下部電極などチャンバー内パーツについても 製作実績がありますので、あわせてご相談ください。 【製品紹介】 ■液晶製造装置用ゲートバルブ本体 ■ゲートバルブ製品に必須なアリ溝加工やシール面加工、ヘール加工も高精度に加工致します。 ■液晶製造装置G10_3000mm超などの非常に大きな開口サイズでも対応可能です。 ■実績：約20年間で数千台の加工実績があります。 見積・製作のご依頼に関しては、お気軽にお問い合わせください。 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
- 企業：株式会社信和
- 価格：応相談
角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』
Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長できます
『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー 間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。 ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。 ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる 加熱だけでなく、可動部である弁体内部にもヒーターを持ち、外部と内部 の両方から加熱することにより、高い均熱性能を特長としています。 【特長】 ■メンテナンス期間を大幅に延長できる ■内部と外部の温度を個々に設定可能 ■バルブを開閉作動する時に、パーティクルが発生しにくい無摺動構造 ■バルブクローズを保つラッチロック機構を装備 ■ゲートのOリング材質として、フッ素ゴム・KALREZ・Chemraz等を用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社キッツエスシーティー
- 価格：応相談
【半導体製造向け】成形ベローズ『NW-KF』
真空シールに最適！高精度・高品質な成形ベローズで、半導体製造を進化させましょう。
半導体製造において、真空環境の維持は製品品質に大きく影響します。しかし、従来の真空シールでは、リークや耐久性の問題が発生することがありました。そこで、当社は高精度・高品質な成形ベローズ『NW-KF』を開発しました。本製品は、真空シールに最適な設計と材質を採用することで、高い気密性と耐久性を両立しています。 【活用シーン】 - 半導体製造装置の真空チャンバー - 真空搬送システム - 真空蒸着装置 - プラズマ処理装置 - 真空計測機器 【導入の効果】 - 真空環境の安定化による製品品質の向上 - リークによるダウンタイムの削減 - 長寿命化によるメンテナンスコストの削減 - 高い信頼性による製造工程の安定化
- 企業：株式会社IWC
- 価格：応相談
【分析機器向け】成形ベローズ『NW-KF』
高真空・高精度接続を実現！分析機器の性能向上に貢献
分析機器の接続部で求められる高真空・高精度を実現する、成形ベローズ『NW-KF』をご紹介します。分析機器は、微量な物質を検出するため、接続部のリークは重大な問題となります。当社の成形ベローズは、高精度な加工技術と厳しい品質管理により、高い気密性と耐久性を誇ります。 【活用シーン】 - 分析機器の接続部：質量分析計、ガスクロマトグラフ、HPLCなど - 高真空環境での接続：真空チャンバー、真空ポンプなど - 複雑な形状への対応：特殊な形状の接続部にも対応可能 - 温度変化への対応：温度変化による性能変化を抑制 【導入の効果】 - 高真空環境を実現することで、分析精度が向上 - リークによる測定誤差を抑制し、信頼性の高いデータ取得が可能 - 接続部の耐久性向上により、メンテナンス頻度を低減 - 多様な材質とバネ定数調整により、幅広い用途に対応可能
- 企業：株式会社IWC
- 価格：応相談
【研究開発向け】成形ベローズ『NW-KF』
真空・高圧環境に対応！高精度な接続を実現する成形ベローズ
研究開発において、真空や高圧環境下での精密な接続は、実験の成功を左右する重要な要素です。従来の接続方法では、リークや耐久性の問題が発生しやすく、実験結果の信頼性に影響を与えることもありました。そこで、当社は、高精度な接続を実現し、実験の信頼性を向上させる成形ベローズ『NW-KF』を開発しました。 【活用シーン】 - 真空チャンバー: 真空環境下での精密な接続が必要な実験装置 - 高圧反応容器: 高圧環境下での接続が必要な化学反応実験 - 分析機器: 高精度な接続が必要な分析装置 【導入の効果】 - 実験の信頼性向上: 高い気密性により、リークによる実験結果の誤差を抑制。 - 装置の耐久性向上: 柔軟性により、装置への負担を軽減し、耐久性を向上。 - 作業効率向上: 接続作業の簡素化により、作業時間を短縮。 - メンテナンス性の向上: 接続部の分解・組立が容易で、メンテナンスが容易。
- 企業：株式会社IWC
- 価格：応相談
