開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命化を可能に
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック
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基本情報
ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 開口サイズ: 50 x 336mm to 80 x 500mm (1.97“ x 13.23“ to 3.15“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工アルミニウム シール技術: L-MOTION
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用途／実績例
半導体製造装置のロードロックチャンバーおよびプロセスチャンバーの真空封止用。 エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 高輝度LEDの製造にも使用。
ラインアップ（8）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 04312-BA24/BH24 | バルブ 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※BA24はアルミニウム/BH24は硬質アルマイト加工アルミニウム |
| 04313-BA24/BH24 | バルブ 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※BA24はアルミニウム/BH24は硬質アルマイト加工アルミニウム |
| 04331-BA24/BH24 | バルブ 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※BA24はアルミニウム/BH24は硬質アルマイト加工アルミニウム |
| 04344-BA24/BH24 | バルブ 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※BA24はアルミニウム/BH24は硬質アルマイト加工アルミニウム |
| 05312-LA24/LH24 | インサート 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※LA24はアルミニウム/LH24は硬質アルマイト加工アルミニウム |
| 05313-LA24/LH24 | インサート 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※LA24はアルミニウム/LH24は硬質アルマイト加工アルミニウム |
| 05331-LA24/LH24 | インサート 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※LA24はアルミニウム/LH24は硬質アルマイト加工アルミニウム |
| 05344-LA24/LH24 | インサート 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※LA24はアルミニウム/LH24は硬質アルマイト加工アルミニウム |
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。