大サイズ用ナノインコーター(離型剤塗布装置):NIC-2003
最大W1500×H200×t10mmまでの石英ガラスに対応
本装置は、2槽式(離型剤塗布とリンス)離型剤塗布装置です。それぞれに循環機能があり、最大45kg/枚の大サイズ石英ガラスの離型剤塗布を行うことができます。
- 企業:株式会社SDI 京都本社
- 価格:1000万円 ~ 5000万円
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最大W1500×H200×t10mmまでの石英ガラスに対応
本装置は、2槽式(離型剤塗布とリンス)離型剤塗布装置です。それぞれに循環機能があり、最大45kg/枚の大サイズ石英ガラスの離型剤塗布を行うことができます。
ガス置換BOX一体型ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、窒素とのガス置換機能を備えたBOXとナノインコーター(離型処理装置)との一体型装置です。最大152mm×152mm、t6.0の石英ガラスを超音波洗浄、離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。ナノインコーターはSDIの商標です。 詳しくはお問い合わせ下さい。
●コーティング
光の干渉・吸収・反射等用途に応じた各種コーティングを承っております。 コート種類:多層膜蒸着、レーザーミラー、反射防止膜、金 属コート、ITO蒸着 コート可能材質:各種ガラス、金属、光学結晶、プラスチック(樹脂)、石英ファイバー端面
半導体製造工程での耐プラズマ性向上、溶融金属へのセッター、るつぼ、ローラ等濡れ性向上による長寿命化、黒鉛へのコーティングも可能!
MLCCやフェライト部品など焼成用各種セッター、半導体製造装置向耐プラズマ、各種金属溶解用るつぼ、搬送ローラー、各種石英部品等。 一般的には困難であったセラミックスのディップコーティングを開発、 各種ファインセラミックスから石英、疎水性である等方性黒鉛や耐火物類への厚膜コーティングが可能となります。 特徴 1.独自ディッピング技術により 形状自由度、基材との密着性大、膜厚均一性大、膜表面における面粗度大。 ※コーティング対象物の設計自由度は増しますが形状に応じ打合せ要。 2.幅広いコーティング材+対象基材 ・コーティング可能セラミックス素材:ほとんどの酸化物及び非酸化物(BN、SiC、Si3N4等) ・対象基材:ファインセラミックス全般、等方性黒鉛、石英等ガラス、耐火物、金属(耐熱温度確認要) 3.ディッピングにより他コーティング方法への高いアドバンテージ ・低コスト(量産効果) ・3次元構造でも対応可能、中空、大型(サイズ確認) 膜厚 標準ねらい膜厚:50μ±5~10μ 用途に応じ複合セラミックス膜を駆使し最適化を実現します。 お気軽にお問い合わせ下さい。