1nmフィードバックステージコントローラ FC-911
1nm分解能で位置決めステージを制御！
1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
ステージコントローラ(制御) - 企業3社の製品一覧
製品一覧
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シーケンス機能付４軸ステージコントローラ
当社製品の後継機としてさらに高機能化、小型化、低価格化を実現しました。
シーケンス機能付 ４軸ステージコントローラ《AS-8400》新発売 小型・高機能・低価格を実現しました。 ◆ 独自開発のモーションコントロール言語で簡単にプログラムを組むことが出来ます。 ◆ 付属の支援ソフト（無償提供）によりパソコンから手動動作を行ない配線などの確認を短時間で行なう事ができます。 ◆ センサーと独立したモータドライバ用コネクターを搭載しているので、配線の煩わしさが少なく、各メーカーのドライバーケーブルも用意しているので設計工数の削減及び工数を短縮できます。 ◆ 外部と繋げるIOは入出力とも各３２回路も設けていますが、ユーザー様が自由に多くの機能を使用できるために、プログラマブルIO方式を採用しています。 ◆ マンマシーンインターフェースに優れているタッチパネルが接続できるため、オペレータの方にとってやさしいシステムに仕上がります。 ◆ 通信機能の充実 ＬＡＮ、ＲＳ２３２Ｃ、ＲＳ４８５が使用可能です。
- 企業：株式会社東洋レーベル
- 価格：応相談
5nmフィードバックステージコントローラ FC-611
検査や研究を効率化！5nm分解能で位置決め制御ができます。
5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
10nmフィードバックステージコントローラ FC-511
10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
50nm分解能で位置決め！フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向上に！
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414
50nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-414はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。 ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する場合にはこのコントローラを使用します。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114
100nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。 ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する場合にはこのコントローラを使用します。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
100nm分解能で位置決め！リニアエンコーダによる位置フィードバックで再現性が取れる！
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
10nmフィードバックステージコントローラ FC-514
10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。 10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージにスローダウンセンサが搭載されており、高速にロングストロークを高分解能に位置決めすることができるため、測定データの範囲が広くすることができます。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
6軸ステージコントローラ『TBB-6000』
最大250分割可能なマイクロステップドライバを内蔵した6軸ステージコントローラ！多軸位置決め制御、各種実験・研究装置用途に！
『TBB-6000』は、タッチパネルによる手動操作、インタフェースからの 遠隔操作に対応したコントローラです。位置決めに関する基本機能の他、 拡張性を有しているのでご要望よりカスタマイズ、OEM製作が可能です。 【特長】 ■5相ステッピングモーター用 ■マイクロステップ ■モータードライバ内蔵 ■19インチラックに収納可能 【カスタマイズ・システムアップ対応例】 ▼軸拡張：12軸、18軸、24軸 ▼ドライバ変更：電磁ブレーキ付き、高トルク大型モータ用 ▼自動動作：外部センサによる動作開始/停止 ▼安全機構：インタロック・安全装置の組み込み ▼真空内での直動・回転ステージ ▼高温・低温環境の位置決め装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ハイブリッジ 東京営業所
- 価格：応相談
