スピン現像装置×アクテス京三株式会社 - 企業1社の製品一覧

スプレー/パドル兼用 小型スピン現像装置（デベロッパー)

高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー

マルチステッププログラムは99ステップ×50パターン保存可能。 薬液系統増設や薬液温調システム等のオプションもご用意しています。 他サイズ、特注仕様もご相談下さい。

• 企業：アクテス京三株式会社 技術センター
• 価格：100万円 ~ 500万円

• レジスト装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置