枚葉スピン現像装置 WSD-200CBT/WSD-300CBT
装置寸法：1200W×1100D×2000H(200CBT)/1500W×1100D×2000H(300CBT)
基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。
- 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格：応相談
スピン現像装置 - 企業4社の製品一覧
製品一覧
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スプレー/パドル兼用 小型スピン現像装置（デベロッパー)
高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー
マルチステッププログラムは99ステップ×50パターン保存可能。 薬液系統増設や薬液温調システム等のオプションもご用意しています。 他サイズ、特注仕様もご相談下さい。
- 企業：アクテス京三株式会社 技術センター
- 価格：100万円 ~ 500万円
有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T
装置寸法：1700W×1300D×1400H
基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。 本体側面にキャニスター缶を収納可能。
- 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格：応相談
スピン現像装置
スピン現像装置
ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の 現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。 【特長】 ●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。 ●ノズル左右移動にロボットを採用。0〜400?oの広範囲に対して ノズルの移動が任意に設定可能。 ●ノズル上下位置が0〜500?oの広範囲に任意に設定可能。 ※詳細は【資料請求】まで
- 企業：株式会社メープル
- 価格：応相談
研究開発用実験装置 スピン現像装置
エッチングマシン製作のことならキムラ・エッチング
研究開発用途の実験装置から生産装置まで、各種ウエット処理(エッチング、現像、剥離、洗浄等)装置を設計・製作しております。装置本体材質はＰＶＣがメインですが、使用薬液・温度に応じてＰＰ、ＰＶＤＦ、ＳＵＳでも製作しております。弊社の装置は全て、お客様の御要望にあわせて製作するＣｕｓｔｏｍ商品です。装置改造・移設などの現場作業も承っております。
- 企業：株式会社キムラ・エッチング
- 価格：応相談
枚葉自動スピン現像装置
装置寸法：2000W×1200D×2000H (200WCBT)/2000W×1500D×2000H (300WCBT)
セットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、パドル現像、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン現像装置です。本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能です。
- 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格：応相談
