高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー
マルチステッププログラムは99ステップ×50パターン保存可能。 薬液系統増設や薬液温調システム等のオプションもご用意しています。 他サイズ、特注仕様もご相談下さい。
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基本情報
6インチウエハ対応の小型スピン現像装置。スイング式ノズルによるスプレー現像の他、パドル現像も行なえます。 プログラム入力により現像→リンス→振り切りの一連動作を連続して行なうセミオート方式デベロッパーです。
価格情報
250万円からご用意しています。
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
半導体、電子部品、薬品メーカー等のホトリソ工程に使用されています。
企業情報
ハードウェアー及びソフトウェアーの開発設計から製造、販売まで一貫した生産工程を持ち、特に画像処理技術とモーションコントロール技術を融合した 各種生産設備の開発力は最大の特徴です。