テストウエハ
材料や装置評価のためのブランケット膜及びパターニングされたウエハをご提供します
ティーイーアイ ソリューションズでは『テストウエハ』を取り扱っております。 材料や装置評価のためのブランケット膜及びパターニングされた 製品をご提供。当社所有のマスクパターンをご利用頂けるほか、御社の ご要望により、新規パターン・構造を開発致します。 また、シリコン基板以外のウエハにも対応が可能ですので、お気軽に ご相談ください。 【製品詳細(一部)】 ■ブランケット膜ウエハ：熱酸化膜、LP-TEOS、P-SiO2、P-TEOS など ■パターニングウエハ：L/Sパターン、Holeパターン など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：ティーイーアイ ソリューションズ株式会社 つくば研究所
- 価格：応相談
