ナノインプリント装置×株式会社清和光学製作所 - 企業1社の製品一覧

ナノインプリント装置

繰り返し精度＝20nm!!!

UV式／熱硬化式 300ｍｍウエハー対応の装置です。 金型の平行出し、加圧、ＵＶ照射、離型し、高精度繰り返し位置決め精度にて ステップ＆リピートし、リソグラフィーの代替パターニングとして （テラバイト光ディスク、ＬＥＤ、マイクロレンズ、拡散フィルム、高密度パッケージ等）に最適です。 研究開発用、量産に対応いたします。 超高精度　　繰り返し精度＝20nm

• 企業：株式会社清和光学製作所
• 価格：応相談

• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置