繰り返し精度＝20nm!!!
UV式／熱硬化式 300ｍｍウエハー対応の装置です。 金型の平行出し、加圧、ＵＶ照射、離型し、高精度繰り返し位置決め精度にて ステップ＆リピートし、リソグラフィーの代替パターニングとして （テラバイト光ディスク、ＬＥＤ、マイクロレンズ、拡散フィルム、高密度パッケージ等）に最適です。 研究開発用、量産に対応いたします。 超高精度 繰り返し精度＝20nm
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基本情報
<構成> 1.XY軸エアースライド 2.リニアモータ 3.リニアゲージ 4.Z軸エアースライダ 5.平行出し機構 6.マイクロディスペンサ 7.オートフォーカスポート 8.基板ホルダ 9.金型ホルダ 10.UV照射ユニット 11.空調システム
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納期
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用途／実績例
テラバイト光ディスク、ＬＥＤ、マイクロレンズ、拡散フィルム、高密度パッケージ等
企業情報
光学をベースに未知の世界へ挑戦します。 ２１世紀は≪光の時代≫と言われるほど、光技術の進歩には目覚しいものがあります。物づくりする当社におきましては、その、≪光技術≫を核として、未来指向の技術力をよりスピーディーに進め、時代が必要としている・情報技術 ・超微細技術 ・科学技術に進んで挑戦し、迅速に行動するパワーあふれる企業でありたいと思っております。また、同時に新世紀にふさわしい革新を常に推進し、安全で信頼のおける製品づくりと、世界に必要とされる企業であり続けることを目指し、より豊かな社会に積極的に取り組んでいく所存であります。 今後とも、皆様の一層のご指導とご支援を心からお願い申し上げます。