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低ノイズ・高分解能・高再現性のクローズドループ制御対応の高性能ピエゾステージ
・移動距離 最大800μm (XY)、最大300μm (Z) ・超薄型モデルあり ・大きな開口部モデルあり ・40 x 40 mm ・66 x 66 mm ・83 x 66 mm ・83.6 x 54 mm ・128.5 x 86.5 mm ・クローズドループ制御 ・低ノイズ、pmレベル ・粗動位置調整用のマニュアルステージとのハイブリッドモデルもご提供 ・多くの倒立顕微鏡と組み合わせ可能 ・高い熱安定性を持つインバール製モデルあり PiezoConcept社製のピエゾステージは、多くの倒立顕微鏡に設置可能なように設計された高性能ピエゾステージです。 優れた分解能・再現性を持つ他、色々な用途に使いやすいように、超薄型かつ大きな開口部を持つなど、多くの特長を持ちます。
高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ
Kleindiek社のサブステージは、高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。電子顕微鏡（SEM/FIB）などの既存のモーターステージの上に乗せることでステージをアップグレードします。 ユーセントリックステージは、FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）および、ECCI / EBSD / トモグラフィーのようにサンプルのユーセントリックな配置を必要とするアプリケーション向けの5軸ステージ（E5AT）の2種類のラインナップがあります。 LTシリーズは、最小33mm角と非常に小型で、電子顕微鏡(SEM/FIB)を始め、各種真空装置、低温装置など狭スペースへの設置が可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムースな動作でサンプルの位置決めを行えます。広い動作範囲（最大30cm）と非常に細かい動作分解能（最小0.25nm）を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード（分解能）を切換えながら操作します。LTシリーズのラインナップは、サイズ・可動範囲・エンコーダーの有無によって区別されます。
