クリエイティブコーティングス『気相技術』
ワーク材質や膜種、膜厚から、弊社がご提案する技術や加工例をご紹介！
「気相技術」は、樹脂原料・燃料電池など『新素材・新材料』『エネルギー』、医療センサー・機器など『医療・ヘルスケア』、電子部品・新ディスプレイなど『モバイル端末』『ウェアラブル機器』『オートモーティブ』など多様な分野で活用されています。 また、多様なプロセス・膜厚・膜種で1nm～1000nmの成膜を実現。 蒸着方式やCVD方式、ALD方式、スパッタ方式でコーティングしています。 【特長】 ■ALDロボットCVA series ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能 ■バレル型ALDロボットCVA-B series 低温ALD装置とバレル機構の融合 ■低温高周波励起DLC成膜装置CVC series 低温で、グラファイトからDLCまで密着性の良い成膜が可能 ■バブリングCVDロボットCVB series 液体→気体 低温で、低コスト＆高品質成膜が可能 ■IBAD（イオンアシスト蒸着法）CVI series IBADによる受託成膜例 低温での低エネルギー照射を可能にし、タッチパネルの透明導電膜（Zn O）や高融点金属電極形成の密着性が向上
- 企業：株式会社クリエイティブコーティングス
- 価格：応相談
