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マイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-500
アリオス社が取り扱う、マイクロ波を用いたプラズマ実験装置のご紹介です プラズマ源やマイクロ波電源などを、全て自社設計する アリオス社だからこそできる、柔軟設計。 お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。 【特徴】 ○DLC膜・カーボンナノチューブ・プラズマ殺菌・真空紫外照射 その他のプラズマ暴露実験ができるマイクロ波実験装置等 多種に渡り製作が可能 ○基板移動機構により、基板とプラズマの位置を任意に設定できるため 様々なプロセスに対応可能 ○プラズマ中に基板を挿入すれば、プラズマにより加熱されるため ダイヤモンド薄膜作製時には、ヒーターは不要 ○排気装置もロータリーポンプ・メカニカルブースター さらに超高真空まで対応可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
RF プラズマ実験装置 RFPC-550
アリオス社が取り扱う、RF13.56MHz励起プラズマ源を用いた プラズマ実験装置のご案内です プラズマ源を自社設計する、アリオス社だからこそできる柔軟設計。 お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。 【特徴】 ○自動マッチングによる簡単操作 ○コンパクトチャンバー＋シンプルな構成により、メンテナンスが容易 ○PFに対する、高電圧感電防止のためのインターロックを装備 ○高周波漏洩対策、停電等に対しても安全に停止するような機構を装備 ○オプションでロードロック機構を追加可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
大気圧プラズマ実験装置 ATMP-1000
電源及び、プラズマ化するガスを接続するだけで 大気圧プラズマの実験が可能な、大気圧プラズマ実験装置 【特徴】 ○強力な点火装置と、電子発生源を装備することにより 確実な点火が実現 ○シンプルな構成による、高いメンテナンス性 ○点火装置による高いプラズマ点火性 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
