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使用温度、薬液、流用に応じ様々なアプリケーションに適したポンプを提供致します。
White Knight 社製テフロン製薬液供給ポンプは、「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 使用温度、薬液、流量に応じてお客様のアプリケーションに適したポンプを提供致します。 ◆使用材質：PTFE、PFA、Polypropylone（非接触部分） ◆最高使用薬液温度：210℃、高温薬液での高流量出力可能 ◆流量：20〜110 l/minの3タイプ ◆メンテナンスフリーで一年間の動作保証。 詳しくはお問い合わせください。
薬液用 フッ素樹脂製 ベローズポンプ
薬液透過対応型 (TMA・TMAH・HCl・HF等) 【特長】 ◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。 ◆ 接液部にOリングを使用していない。 ◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。 ◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。 ◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。 ◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。 ◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の３機種。
100%プラスティックによりイオンコンタミを排除したポンプ
【特長】 ◆金属部品一切なし。100%樹脂製。 ◆自吸性あり。高吸込揚程。 ◆処理液温度範囲：０℃〜160℃ ◆メンテナンスが極めて容易。所要時間は30分以内。 ◆ポンプの駆動源はドライエアー、または窒素。 ※詳細は『資料請求』まで
手のひらに乗るサイズの小型のベローズポンプで接液部は全てフッ素樹脂（PTFE/PFA)を使用し高純度薬液の移送にも使用可能です。
White Knight社が開発した低価格且つ小型のベローズポンプで、接液部にＯ-リングを使用しておらずコンタミ等の発生の心配がありません。また、ボディシール部にはWhite Knight社独自のシール技術を用いているため、増し締めなどのメンテナンス作業が不要です。ポンプ本体も含め100％ノンメタルの為、汚染、腐食の心配がありません。
金属汚染の心配なし！接液部以外も金属部品を一切使用しておりません。
CMP用スラリー対応型 (酸化膜スラリー・メタル用スラリー)
高温大流量移送により、洗浄効率の大幅な向上を実現したベローズポンプ
Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能となり、高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上が見込めます。
最大100L/minが移送可能なエアー駆動フッ素樹脂製大型ベローズポンプ
■高速ストローク ■コンタミフリー設計 ■大流量/高圧吐出
