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使用温度、薬液、流用に応じ様々なアプリケーションに適したポンプを提供致します。
White Knight 社製テフロン製薬液供給ポンプは、「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 使用温度、薬液、流量に応じてお客様のアプリケーションに適したポンプを提供致します。 ◆使用材質：PTFE、PFA、Polypropylone（非接触部分） ◆最高使用薬液温度：210℃、高温薬液での高流量出力可能 ◆流量：20〜110 l/minの3タイプ ◆メンテナンスフリーで一年間の動作保証。 詳しくはお問い合わせください。
手のひらに乗るサイズの小型のベローズポンプで接液部は全てフッ素樹脂（PTFE/PFA)を使用し高純度薬液の移送にも使用可能です。
White Knight社が開発した低価格且つ小型のベローズポンプで、接液部にＯ-リングを使用しておらずコンタミ等の発生の心配がありません。また、ボディシール部にはWhite Knight社独自のシール技術を用いているため、増し締めなどのメンテナンス作業が不要です。ポンプ本体も含め100％ノンメタルの為、汚染、腐食の心配がありません。
最大100L/minが移送可能なエアー駆動フッ素樹脂製大型ベローズポンプ
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズは、高圧（0.6MPa以上）・大流量吐出が必要な薬液供給に最適な半導体プロセスポンプです。 【特長】 ●Max. 100L/minの大流量吐出。 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。 ●独自に開発したシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が一段と少なくなっています。 ●リークセンサを標準装備。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
粘度、比重、酸・アルカリなど、その用途に応じて構造や素材を厳選し設計！
『Furonシリーズ』は、半導体・PFD製造装置に使用されるフッ素樹脂 (PFA/PTFE)を中心としたポンプです。 当社のポンプは、接液部にはフッ素樹脂を使用し、半導体・PFD製造装置や 有機EL製造装置など、特殊な流体を使用する用途に適しています。 また、製品の長寿命化とコスト削減ができる、高純度フッ素樹脂製 空気作動ベローズポンプ「Furon A2 Pumps」などをご用意しております。 【Furon A2 Pumpsの特長】 ■金属部品なし ■100％高純度PFAおよびPTFEによる接液部部材 ■100％エラストマーフリー ■世界各地に点在する予防保守向けサービスセンター ■PLCを使用せず、短時間で簡単にセットアップできるシステム ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
高速ストローク化で小型・軽量・ローコスト化を実現
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズは、Max. 240spmの高速ストロークで、小型・軽量・ローコスト化を実現しました。 【特長】 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。 ●独自に開発したシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が一段と少なくなっています。 ●リークセンサを標準装備。 ●専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
高温大流量移送により、洗浄効率の大幅な向上を実現したベローズポンプ
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2は、Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能となり、CARO（SPM）やH3PO4などの高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上が見込めます。 【特長】 ●Max. 180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。 ●循環流量の向上により、洗浄時間の増加を抑えることが可能です。 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●リークセンサを標準装備。 ●専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
