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0.2nm分解能・超小型44mmキューブ。高速スキャンと高精度XYZナノポジショニングを実現
P-611.3 NanoCubeは、XYZ 3軸制御を可能にする超小型ピエゾナノポジショニングステージです。44×44×44mmのコンパクトサイズながら、最大120µmの移動量と0.2nmの分解能を実現し、ナノレベルの位置決めが求められる研究・産業用途に最適です。 高精度フレクシャーガイド構造によりバックラッシュのない滑らかな動作を実現し、高速スキャンや高精度アライメントに対応します。 さらに、PI独自のPICMA（R）ピエゾアクチュエータを採用し、湿気や漏れ電流による故障を防止。従来のポリマー絶縁型アクチュエータと比べて最大10倍の長寿命を実現しています。
再現性 ±1nm、XY軸100 µm＋Z軸10 µmストローク、50 mm開口で透過光にも最適
高信頼性のPICMAピエゾセラミック駆動、静電容量センサによるダイレクト計測を行うXYZ軸ナノポジショニングステージです。 XY軸動作量は、30ｘ30µｍと100 × 100 µmタイプで、Z軸は10 µmストロークになります。 開口 50 × 50 mmを持つため透過光アプリケーションにも最適。 高精度顕微鏡、マスク/ウェーハの位置決め、計測技術などに使われます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
プローブ位置決めをサブナノ精度で実現するPIMars精密ナノステージ
高精度計測において、プローブの位置決め精度は測定結果の信頼性を左右します。わずかな振動やクロストークが誤差要因となるため、高剛性かつクローズドループ制御による安定したナノポジショニングが求められます。 P-561・P-562・P-563 PIMars Nanopositioning Stages は、パラレルキネマティクス構造と静電容量式センサを採用したXYZ多軸ピエゾフレクシャステージです。再現性±2 nm、リニアリティ0.03％を実現し、低クロストークで高精度なプローブ位置決めを可能にします。 高共振周波数と優れた動的特性により、高速スキャン計測や微小変位測定にも対応。半導体検査やナノ材料解析など、精密計測用途に最適です。 【活用シーン】 ・半導体検査 ・超解像顕微鏡 ・フォトニクス調整 【導入の効果】 ・高精度な測定結果の実現 ・測定時間の短縮 ・製品品質の向上
