高圧用 汎用型アナログマスフローコントローラー 5850E
半導体ウエハプロセス、LCDプロセス、光ファイバプロセス、一般研究用など、あらゆるプロセスに対応
コストパフォーマンスを徹底追及した、アナログマスフローコントローラ
- 企業:川口液化ケミカル株式会社 川口事業所
- 価格:応相談
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半導体ウエハプロセス、LCDプロセス、光ファイバプロセス、一般研究用など、あらゆるプロセスに対応
コストパフォーマンスを徹底追及した、アナログマスフローコントローラ
真空製膜装置から研究実験装置まで幅広い用途に対応
ガス・真空・低温機器供給のR&D、川口液化ケミカル社が取扱う ローコスト・マスフローコントローラのご紹介です
300mmウエハープロセスに対応
ワイドレンジでの高精度、高速応答を実現したマスフローコントローラ
スルータイプのセンサーをを採用
新しい熱力学的原理センサ設計(国際特許)に基づいた、液体用マスフローコントローラ
画期的設計 (特許)のコリオリ式質量流量センサを採用
計測が困難とされる小流量の液体分野において 比類ない高精度とゼロ安定性を提供する、液体・ガス用マスフローコントローラ