マスフローコントローラのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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マスフローコントローラ(温度制御) - メーカー・企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2025年08月13日~2025年09月09日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

マスフローコントローラの製品一覧

1~15 件を表示 / 全 15 件

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マスフローコントローラ EL-FLOW Classic

OEMに最適。コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、アナログI/O専用サーマル式デジタルマスフローコントローラ

EL-FLOW Classicシリーズ デジタルマスフローコントローラは、ブロンコストの最新技術を盛り込みつつ、流量測定・制御という基本的な機能に特化して価格を抑えたモデルです。 アナログI/O対応(デジタル通信非対応)、標準ガス(Air, N2, H2, O2, He, Ar, CO, CO2, N2O, CH4)向けのみのラインナップとし、納期を短くしています。 詳しくはカタログをご覧になるか、お問合せ下さい。

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高温マスフローコントローラ MC-3000L-TC series

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L seriesの高温対応モデルです

独自の特許技術で1.0%F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃(非通電)が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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高速応答マスフローコントローラ『MC-7000シリーズ』

Auシール、ピエゾアクチュエータを採用!各種デジタルインターフェイスにも対応しています

『MC-7000シリーズ』は、サーマルセンサで200msec以下の高速応答を 実現した高速応答マスフローコントローラです。 リンテック独自の自己温度補正方式を採用することで、腐食性ガスや 液化ガスにも対応し、流量精度は±1.0% S.P.を保証。 また、DeviceNetやEtherCATなど、各種デジタルインターフェイスに対応 しています。 【特長】 ■Auシール、ピエゾアクチュエータを採用 ■サーマルセンサで200msec以下の高速応答を実現 ■リンテック独自の自己温度補正方式を採用 ■腐食性ガスや液化ガスにも対応 ■流量精度は±1.0% S.P.を保証 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量制御
  • 計量制御

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液体用マスフローコントローラ LC-3000L series

当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します

ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 【特長】 ○リンテック独自の周囲温度補償方式の流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計 ○汎用デジタルインターフェイスを装備(RS-485準拠) ○ピエゾアクチュエータ採用による高速応答 ○ダイアフラムバルブ構造を採用   (デッドスペース極小、気泡が発生しにくい構造) ○バイパスレス構造   (液体導入、内部パージが容易、取付姿勢自由) ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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サーマル式マスフローコントローラ EL-FLOW Base

コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、新しいマスフローコントローラ。

EL-FLOW Baseシリーズ マスフローコントローラはブロンコストの最新の技術を取り入れつつ、標準的な機能に絞り込んで価格を抑えた低価格モデルです。 特にOEM向けに開発されたファーストレスポンス・マスフローコントローラです。 一般的なガスへの用途では正確な計器と安定した制御を提供します。 EL-FLOW Baseは特にOEM装置への設置などにおいて大変経済的なコストソリューションを提供しています。 これまでのF-201CB, F-201ABに加え、最大流量200 ln/min AirのF-202BBが加わりました。 詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。

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高性能マスフローコントローラ MC-3000L series

当社独自の自己温度補正方式(米国、日本特許)のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです

独自の特許技術で1.0%S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格(1.125インチ)に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ   (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証)、デジタル制御) ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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Aera PI-980 プレッシャーインセンシティブMFC

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能により、予備在庫の必要性が劇的に減り、コスト効率の改善にいっそう貢献します。 この次世代MFC技術は、統合診断機能に加え、フィールドですでに実績のある当社のD980シリーズ製品のプラットフォームと組み合わせたことで、装置稼働時間を向上させるとともに、迅速かつ容易なトラブルシューティングを実現します。

  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • エッチング装置

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マスフローコントローラ MODEL8700/3660SERIES

温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能! N2、Air、H2、He、Arなどの気体が対象。

当社で取り扱うマスフローコントローラ『MODEL 8700/3660 SERIES』をご紹介します。 表示器付マスフローコントローラ/メータ「MODEL 8700 SERIES」は、 アナログ入出力0-5VDC(4-20mAに変更可能)を有し、 各種機能(瞬時/積算流量表示、アラーム設定)を使用可能です。 スタンダードマスフローコントローラ「MODEL 3660 SERIES」は、 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応します。 【特長】 ■対象流体:気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量:気体 10SCCM~100SLM ■精度:±1~1.5%F.S. ■幅広い流量レンジに対応(N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで) ■アナログ入出力は表示器にて変更可能(MODEL 8700 SERIES) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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mini CORI-FLOWの適用(ポンプシステム 事例2)

【ポンプシステム 事例2】超臨界ガス計測と制御

超臨界付近の流体;炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。 例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。 このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性;密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • 流量制御
  • その他ポンプ
  • その他プロセス制御

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流量計マスフローメーター・マスフローコントローラー 総合カタログ

欧州で圧倒的シェア!液体・ガスともに広範な流量レンジをカバーできる!マスフロー測定・制御機器の総合カタログ進呈中!

ヨーロッパの流量測定・制御分野で圧倒的シェアを誇るブロンコスト・ハイテックが取り扱う、マスフローメーター・マスフローコントローラーの流量計総合カタログです。目的に必要な精度や流量レンジを兼ね揃えた機器がきっとみつかる広範なラインナップです。 1981年以来、サーマル式とコリオリ式を中心に微流量~大流量まで広範なレンジに対応した高精度の製品を展開しています。世界各国のR&D、工業分野で採用されています。小流領域特化のコリオリ製品も注目です。 【こんなことでお困りの方へ】 ■温度・圧力変動時の再現性を良くしたい ■計器が場所を取る ■液体を変える度の再校正を減らしたい 【掲載内容】 ○EL-FLOWシリーズ ○IN-FLOWシリーズ ○EX-FLOWシリーズ ○LOW-ΔP-FLOWシリーズ ○EL-PRESSシリーズ ○OEMソリューション ○LIQUI-FLOWシリーズ  他 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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MODEL 3200 SERIES

デッドボリューム低減!精度±1%F.S.のハイグレードマスフローコントローラをご紹介

『MODEL 3200 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する ハイグレードマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM~20SLM となっております。 【特長】 ■対象流体:気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2 等 ■最大流量:気体 1SCCM~20SLM ■精度:±1%F.S. ■微少流量に対応(N2換算でF.S.1SCCMから) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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MODEL 5100 SERIES

デッドボリューム低減!最大流量1SCCM~20SLMのメタルシールマスフローコントローラ

『MODEL 5100 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する メタルシールマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM~20SLMと なっております。 【特長】 ■対象流体:気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等  ■最大流量:気体 1SCCM~20SLM ■精度:±1%F.S. ■微少流量に対応(N2換算でF.S.1SCCMから) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マスフローコントローラ/メータ SLAMfシリーズ※国内防爆認証

国内防爆認証(JPEx)を正式取得!厳しい環境にも対応する耐久性!優れた精度を実現する精密マスフローコントロール!

粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、 『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、 実証済みの「SLA5800ファミリ」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、 プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 防塵防爆エンクロージャー仕様のSLAMFシリーズは、 国内防爆認証(JPEx) 安全増防爆(MFC型式検定合格番号: DEK24.0048X、MFM型式検定合格番号: DEK24.0049X)を正式に取得したことで、 Zone2エリアへの導入・使用が可能となりました。  【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から20800 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。 

  • IPROS50435174974327297356.png
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MODEL EX-550 SERIES

N2、Air、H2等が対象!メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータのご紹介

『MODEL EX-550 SERIES』は、ロータリースイッチによるガス種切替が 可能なメタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータです。 S.P.精度で高精度な計測ができ、全流量制御範囲は応答1sec以内。 RS485通信機能を有し、アナログ入出力0-5VDC/4-20mAや電源±15VDC/ 24VDCを選択いただけます。 【特長】 ■対象流体:気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量:10SCCM~5SLM ■精度:±1%S.P.(25~100%F.S.)、±0.25%F.S.(~25%F.S.) ■S.P.精度で高精度な計測が可能 ■ロータリースイッチによるガス種切替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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MODEL EX-250S SERIES

RS485通信機能あり!コンパクト設計のデジタルマスフローコントローラ/メータ

『MODEL EX-250S SERIES』は、ロータリースイッチによるガス種の切替が できる小型デジタルマスフローコントローラ/メータです。 RS485通信機能を有し、アナログ入出力0-5VDC/4-20mAや電源±15VDC/24VDCを 選択可能。全流量制御範囲は応答1sec以内となっております。 ご用命の際は、当社までお気軽にご相談ください。 【特長】 ■対象流体:気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量:気体 5SCCM~10SLM ■精度:±1%F.S. ■コンパクト設計 ■ロータリースイッチによるガス種切替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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