ウェーハワックス貼付装置『LTP-250』
ワークの平行度向上！ウェーハの貼付時に混入した空気等を脱泡させることが可能
『LTP-250』は、ワックス貼付時、真空脱泡することが可能な製品です。 ワックス膜厚の均一化や薄膜化が可能。 ワックスに含まれる泡や、反りの有るウェーハの貼付時に混入した空気等を 真空状態で貼付ける事により、脱泡させることが可能となります。 【貼付加工による効果】 ■ワークの平行度向上 ■研磨面平坦化向上 ■ワックス膜厚の均一化 ■薄膜化 ■膜の歪み改善 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ラップジャパン株式会社
- 価格：応相談
