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表裏の位置ずれ／寸法測定顕微鏡をご紹介。高精度、低価格化を実現しました
『TOMOS-50』は、水晶振動子、MEMS、半導体等の電子部品の表裏を 同時に撮影、±0.2μm以下の精度で測定できるコンパクトタイプの 表裏位置ずれ計測システムです。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正可能。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売もしております。 お問い合わせください。 【特長】 ■コンパクトタイプ ■約300万画素 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定(条件により異なる) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
表裏同時観察による高効率な検査を実現。レンズ、LEDチップ、通信部品などの微細部品の傷やズレを確実に捉える顕微鏡システム！
『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 コンデンサ、抵抗などの電子部品、通信デバイス用樹脂部品、 レンズなどの個片全体を撮影し、表裏両面のキズ検査が可能です。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度±0.010mm精度で測定可能（※） ※測定精度は、被写体条件、測定条件、対物レンズ倍率、測定環境等により変わります。 サンプルテストにてご確認下さい。 ＼ 詳細は「カタログをダウンロード」よりご確認下さい ／
表裏同時観察による高効率な検査を実現。レンズ、LEDチップ、通信部品などの微細部品の傷やズレを確実に捉える顕微鏡システム！
『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 コンデンサ、抵抗などの電子部品、通信デバイス用樹脂部品、 レンズなどの個片全体を撮影し、表裏両面のキズ検査が可能です。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度±0.010mm精度で測定可能（※） ※測定精度は、被写体条件、測定条件、対物レンズ倍率、測定環境等により変わります。 サンプルテストにてご確認下さい。 ＼ 詳細は「カタログをダウンロード」よりご確認下さい ／
撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能！(視野9mm x 7mm）
『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴など、電子部品の表裏を 同時に撮影が可能です。 また、表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度 ±0.010mm精度で測定できます。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
電子部品・プリント基板の表裏を同時に観察できる低倍率広視野顕微鏡。キズ検査やアライメントマークの位置ずれ測定に好適！
『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 コンデンサ、抵抗などの電子部品、通信デバイス用樹脂部品、 レンズなどの個片全体を撮影し、表裏両面のキズ検査が可能です。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度±0.010mm精度で測定可能（※） ※測定精度は、被写体条件、測定条件、対物レンズ倍率、測定環境等により変わります。 サンプルテストにてご確認下さい。 ＼ 詳細は「カタログをダウンロード」よりご確認下さい ／
±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定します！
『TOMOS-50/60/80/XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 電動制御及び自動計測となっており、両面露光パターンズレや 半導体ウエハー、4インチ、6インチ、8インチウエハー、MEMS、 水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、観察に利用可能。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正します。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能です。 【特長】 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定 ■表裏2chオートフォーカスユニット組み合わせ可能(オプション) ■電動XYステージ制御システム開発中 ■装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
XY電動ステージとオートフォーカス機能を搭載！ソフトウェアなどのカスタマイズも対応
『TOMOS-60XY』は、ワークの複数箇所を自動測定できる6インチ電動 XYステージ 両面顕微鏡システムです。 あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、 MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークの ずれを自動測定することが可能。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載し、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【特長】 ■円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを 自動検出し、中心座標同士のずれを測定 ■XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数個所を自動測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
電子ペーパーやMEMSの観察・位置ずれ・寸法計測を一台で実現。両面同時観察と自動計測で、測定の効率と精度を大幅に向上。
当社のTOMOSシリーズ は、電子ペーパー、MEMS、水晶振動子、半導体線幅パターンなどの 精密デバイスを対象に、表裏同時観察・計測を実現する両面顕微鏡システムです。 落射・透過照明対応で粒子・流体・フィルターなど両面同時観察の可能で、 位置ずれ・寸法計測も自動化し高精度・効率化を実現します。 TOMOSシリーズは用途に応じた複数モデルをラインナップしており、観察・計測の目的や対象に最善な選択が可能です。 研究・解析・製造・検査の現場で、高精度・高再現性・効率化を追求する方に好適なソリューションです。 【ダウンロードカタログ内容】 ■コンパクトタイプ 表裏位置ずれ計測システム TOMOS-50 ■6インチステージ 表裏位置ずれ計測システム TOMOS-60 ■リング照明付き低倍率両面顕微鏡システム TOMOS-50R1 ■6インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-60XY ■8インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-80XY ■高速オートフォーカスユニット Mimic II-AF/CL ■高感度近赤外線カメラ FS-1700IRP
