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超高精密位置決めを可能に！多様なニーズにお応えする豊富なバリエーション
『TXシリーズ』は、フルクローズドループ制御による高精度な 位置決め制御が行える、リニアエンコーダ付きの指定が可能な、 単軸仕様の高精密位置決めテーブルです。 新たにアブソリュート型リニアエンコーダを追加し、 お客様の装置に好適なリニアエンコーダを選択可能。 また、直交型の二軸仕様（CTX…M）もご用意しております。 【特長】 ■新たにアブソリュート型リニアエンコーダを追加 ■お客様の装置に好適なリニアエンコーダを選択可能 ■充実したサイズバリエーション ■直交型の二軸仕様（CTX…M）もご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
コンパクト＆高剛性！超小型ボディの位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ（予圧品）を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト＆高剛性 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
転動体の循環で潤滑油を運搬！ Cルーブ を内蔵した構造
当社で取り扱う、精密位置決めテーブル『LH』をご紹介いたします。 Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様。負荷域では常に最適な油量が 確保され、長期間潤滑性能を維持、転動体が接触するキャピラリー潤滑体の 表面には、他の部分から常に新しい潤滑油が供給されます。 高い走行精度と位置決め精度で、単軸仕様と二軸仕様をご用意しております。 【特長】 ■厳選された部品構成で信頼性が高く高精度 ■高剛性で大きな搭載質量 ■高い走行精度と位置決め精度 ■テーブル幅寸法420mmの超大形サイズまでシリーズ化 ■Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
直動案内機器に保持器ずれを起こさない！立軸使用や高加減速運転でも安心して使用可能
『TS・CT』は、高剛性で振動減衰性の高い鋳鉄製のスライドテーブルと ベッドに、クロスローラウェイを組み込んだ、高精度・コンパクトな 精密位置決めテーブルです。 ラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイを採用。 精密に研削加工された大面積のテーブルを採用しているので テーブル上面すべてを作業面として使用できます。 【特長】 ■高精度・コンパクト ■保持器ずれ防止機構を内蔵した安心設計 ■テーブル上面で直接作業する用途に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高真空対応！互換性も高い位置決めテーブル
当製品は、真空対応の位置決めテーブルです。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、お客様の要望に沿った 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。 また、VTシリーズは各メーカー市販のステージ（大気用）と同等サイズ バリエーションと互換性も高く、貴社既存の大気仕様装置を設計変更を することなく、低放出ガス仕様や真空対応化することも可能です。 【特長】 ■高真空（1×10-5pa程度）対応 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせて最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
精密に研削加工された大面積のテーブルを採用！テーブル上面全てを作業面として使用可能
『TS・CT』は、高剛性で振動減衰性の高い鋳鉄製のスライドテーブルと ベッドに、クロスローラウェイを組み込んだ、高精度・コンパクトな 精密位置決めテーブルです。 直動案内機器に保持器ずれを起こさない、ラック＆ピニオン内蔵形 クロスローラウェイを採用しているので、立軸使用や高加減速運転でも 安心して使用できます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■高精度・コンパクトな位置決めテーブル ■保持器ずれ防止機構を内蔵した安心設計 ■テーブル上面で直接作業する用途に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
