防水対応3軸円筒座標型ロボット SWHR3156シリーズ
LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適
防水対応3軸円筒座標型ロボットSWHR3156シリーズは、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付です。保護等級IP64で、LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
