防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。
水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ対応も可能 ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
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基本情報
ロボット仕様 ロボット型式STWHR4156-200-PM 被搬送物～300mmウェーハ ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式円筒座標型制御軸4軸 モータタイプ2相パルスモータ 動作範囲アーム第3関節中心旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 312mm340度200mm 搬送速度(平均)アーム(R軸)旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 300mm/sec100度/sec100mm/sec 搬送速度(最高)アーム(R軸)旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 600mm/sec130度/sec140mm/sec 分解能アーム(R軸)旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 107µm以下0.0107度12.5µm以下 搬送レベル569mm (ベース取付面から上チャックの搬送ライン) 繰り返し精度±0.2mm以内 ユーティリティ電流電圧：DC24V 10A 真空：-53kPa以上(吸着チャック取付の場合)
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置など
企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。