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3次元X線顕微鏡でカプレット錠内部の空隙を可視化！X線吸収率が小さく暗く表示
錠剤には、服用しやすさ、取り扱いの容易さ、においや苦味の抑制などの 利便性と、適切な部位で適量が作用するように、溶ける箇所・時間などを 調整する重要な機能があります。 3次元X線顕微鏡(X線CT)は、コーティング層、粉薬の分布状態などの 内部構造を確認でき、非破壊であるため、乾燥・湿潤などによる 状態変化の確認にも活用できます。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【カプレット錠内部の空隙率の算出 概要】 ■3次元X線顕微鏡でカプレット錠内部の空隙を可視化 ■空隙はX線吸収率が小さく暗く表示される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
外観検査ではわからない内部の状態を非破壊で可視化できます！
電気製品で断線による故障が発生する場合があります。 配線の周囲が不透明な樹脂などで覆われていると、どこで断線が 発生しているか、外観検査だけで探すことは困難です。 そのような場合、X線透過観察により、断線箇所を見つけることが可能です。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【概要】 ■X線透過観察による断線箇所特定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高分解能・高コントラストの観察！非破壊で3次元観察することが可能
錠剤には、適切な部位で適量が作用するように、内部成分の割合には 重要な意味があります。 3次元X線顕微鏡(X線CT)により、内部状態を3次元的に 可視化することで粉薬などの分布状態を確認できます。 試料を透過したX線を光に変換して光学レンズで拡大するため、 高分解能・高コントラストの観察が可能です。 【3次元X線顕微鏡の基本構造】 ■X線源 ■試料 ■シンチレータ ■光学レンズ ■検出器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
空隙分布や密度変化の数値化が可能！打錠条件の改善に役立てることができます
打錠条件により、錠剤内部に空隙が残る場合や密度分布が変化する 場合があります。 3次元X線顕微鏡(X線CT)は、非破壊かつ3次元での観察により、 空隙分布や密度変化の数値化が可能で、打錠条件の改善に 役立てることができます。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【錠剤の密度分布とX線CT像の輝度の関係】 ■空気のX線吸収率はほぼゼロで輝度は小さくなる ■固体の占める割合により輝度のヒストグラムの歪み方が異なる ■空隙率が大きい方が歪度が小さくなる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高輝度X線により、錠剤の吸水と崩壊開始の状態をリアルタイムに観察可能！
口腔内崩壊錠は、少量の水で崩壊することが望まれます。 そのような性質を持つ錠剤の設計や作製のためには、 吸水崩壊のメカニズム解明が重要です。 放射光施設の高輝度X線を用いることで、錠剤の吸水と 崩壊過程をリアルタイムでX線透過観察することができます。 【リアルタイムX線透過観察 概要】 ■4s：水滴が広がり徐々に吸水 ■182s：錠剤内部の一部崩壊 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高分解能・高コントラストな観察を実現！非破壊で3次元観察することが可能
「MEMS」には、立体的で可動部を有するMEMS構造体が中空で 封止されています。 この構造をあるがままに観察するためには開封などの加工を行わず 観察することが必要です。 3次元X線顕微鏡(X線CT)は、非破壊で3次元観察でき、できばえ解析・ 不具合解析・リバースエンジニアリングに有効です。 【3次元X線顕微鏡 特長】 ■対象物の内部を非破壊で3次元観察することが可能 ■試料を透過したX線を光学レンズで拡大するため、高分解能・ 高コントラストな観察が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
構成元素の種類と量、膜質などを評価！複合的な分析をご提案いたします
当社で行う「薄膜分析・評価」についてご紹介いたします。 薄膜は電子デバイスの機能性を向上させるための重要な因子の一つです。 薄膜の複合的な分析をご提案いたします。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【詳細】 ■組成評価 ■不純物・汚染評価 ■結合状態 ■密度評価 ■発生ガス ■形状観察 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
検出深さが大きくなり、より深い領域の評価が可能になります！
当社で行う「放射光HAXPESによる埋もれた界面の評価」について ご紹介します。 X線光電子分光(XPS)は、表面の組成・状態分析が可能であり、 表面分析では不可欠な手法。 ラボ型XPS(Al Kα：1.5keV)では、3nm程度の極表面の評価に限られますが、 外部施設を利用した硬X線光電子分光(HAXPES)：8keVにより、多層構造や 実デバイスに近いスタック構造の埋もれた界面など、より深い領域の評価が 可能となります。 【特長】 ■通常のXPSに比べて検出深さが大きい ■深いエネルギー準位からの光電子を測定 ■同時に発生するオージェ電子などの重なりがなくなるため、状態分析が容易 ■第三世代の放射光施設(SPring-8)を高輝度X線源として利用可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
部品内部へ溜まった水分が熱ストレスにより気化！体積膨張する事により応力が発生
「表面実装部品のはんだ耐熱性試験」では、表面実装部品の防湿梱包から リフローまでをシミュレートし、熱ストレス耐性を評価します。 試験で発生した不良事例では、部品内部へ溜まった水分が熱ストレスにより 気化し、体積膨張する事により応力が発生。発生した応力により界面で剥離、 クラックなどの異常が発生します。 これらの異常は外観から確認する事が困難なため、超音波顕微鏡を用いて 内部の密着状態を検査します。 【試験フロー】 ■初期状態を確認 ■恒温槽で水分を排湿 ■恒温恒湿槽で水分を吸湿 ■リフロー装置で熱ストレスをかける ■試験後状態確認 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基板側からSIMS分析を行うバックサイドSIMS(Backside SIMS)についてご紹介！
SIMS分析において、高濃度層から下層膜への不純物拡散を評価する際には、 表面の凹凸やスパッタエッチングに伴い、高濃度層からのクレーターエッジ効果や ノックオンの影響を受けることがあります。 これらの影響を受けない評価方法として、基板側からSIMS分析を行う バックサイドSIMS(Backside SIMS)があります。 添付のPDF資料にて、Backside SIMSによりFが添加されたSiO2膜(FSG膜)から 下層SiO2膜へのFの拡散分布の評価についてご紹介しておりますので、 ぜひご覧ください。 【Backside SIMS原理】 ■裏面側のSi基板を研磨して薄くすることにより、裏面側からアプローチ できるようにする ■Si基板の残厚を制御して薄膜化することや、パターン付試料の任意領域を 薄膜化すること、SiO2層などのSiのエッチングを選択的に停止させる層が ある場合には、ウェットエッチングによりSi基板部分を全て除去することも可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ナノ粒子の形状(球や楕円など)およびサイズ分布の算出が可能！
当社で行う「SAXSによるDDS製剤高分子ミセルの粒子評価」について ご紹介いたします。 DDS(ドラッグデリバリーシステム)とは、体内の必要箇所に対して選択的に 薬剤を作用させる薬物輸送システムのことで、副作用を抑えることから 大きな期待が寄せられています。 DDSでは高分子ミセルを用いることがあり、当社ではSAXS(X線小角散乱法) により高分子ミセルの粒子形状・サイズ分布の評価を行います。 【特長】 ■SAXS：X線の散乱を用いて物質の構造を解析する分析手法 ■対象試料：個体でも液体でも可能 ■非破壊で分析可能 ■ナノ粒子の形状(球や楕円など)およびサイズ分布の算出が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
金属部材の変色部分の原因調査では、最表面状態の定性分析と表面酸化膜の厚さや深さ方向の分布などXPSによる評価が非常に有効！
変色した銅部材表面のXPS分析についてご紹介いたします。 銅の変色の原因は、腐食物の生成による場合のほか、表面酸化膜の厚さの違い (光の干渉現象による発色)が原因となる場合もあるので、X線光電子分光(XPS) による最表面の定性分析に加えて深さ方向分析も実施すると有効です。 添付のPDF資料にて、銅部材の表面定性分析と深さ方向分析を実施し、変色部分と 正常部分の比較を行った事例をご紹介しておりますので、ぜひご覧ください。 【銅表面の変色状態評価】 ■X線光電子分光(XPS)による最表面の定性分析に加えて深さ方向分析も 実施すると有効 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
磁気抵抗素子の特性は、各種分析手法を組み合わせで解析することが重要！
当社で行う「磁性金属多層膜の組成・状態分析」についてご紹介します。 GMR素子やMTJ素子(磁性金属多層膜を含むスピントロニクス素子)は、 HDD装置の磁気ヘッドやMRAMへの実用化が進んでいます。 このような磁気抵抗素子の特性は、構造や界面により大きく変化するため、 それら挙動を各種分析手法を組み合わせで解析することが重要です。 【界面の状態解析】 ■XPS ■HAXPES ■TEM-EELS ■3DAP(APT) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
脱粒などの微細構造を壊さずに断面構造や元素の分布を確認可能！
当社で行う「自動車用バンパー塗装膜の断面観察」についてご紹介します。 自動車用バンパーの塗装膜は数種類の塗料を用いた多層構造になっています。 一般的な機械式研磨加工による断面観察では、添加されている微粒子の 脱粒などが発生し、その正しい構造が確認できません。 イオンミリング法(Ar＋イオンビーム)を用いて加工することで、脱粒などの 微細構造を壊さずに断面構造や元素の分布を確認することができます。 【特長】 ■SEM観察により、塗装膜の多層構造および添加微粒子を明瞭に確認可能 ■元素分析を併用することで、各添加粒子の分布を明瞭に確認可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
Ta板からの脱離ガス成分や水素の脱離温度などを確認可能！
半導体製造等において広く用いられる「水素アニール評価」の一環として、 TDS(Thermal Desorption Spectroscopy)にて測定した事例をご紹介します。 真空中で昇温しながら質量分析を行うことで、Ta板からの脱離ガス成分や 水素の脱離温度などを確認することができました。 また、脱離ガスを質量分析することで、ガス種の同定や目的成分ごとの 脱離挙動を知ることができます。 【事例概要】 ■試料からの昇温脱離ガスプロファィル ■質量分析(m/z＝1～199)による脱離ガス種の同定、脱離ガス量の比較 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
