加熱ヒータのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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加熱ヒータ(設計) - メーカー・企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2026年01月07日~2026年02月03日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

加熱ヒータの製品一覧

1~30 件を表示 / 全 33 件

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【半導体業界向け】フッ素樹脂製品のご紹介

当社フッ素樹脂ライニングを用いたシステム設計・製作を行っております!

ニッシンコーポレーション株式会社は、独自のフッ素樹脂加工技術を 活かしたフッ素樹脂製品をご提供しております。 フッ素樹脂の持つ耐薬品性・純粋性・電気特性・非粘着性を生かした 「貯槽(ストレージタンク)」をはじめ、半導体製造ラインなどの設備に 薬液昇温装置として使用されている「薬液ヒーター」などをラインアップ。 また、タンク内や攪拌羽根等のインターナル、その他配管等の内面へ 当社フッ素樹脂ライニングを用いたシステム設計・製作を行っております。 【事業内容】 ■各種プラント、化学プラント装置、化学機械、光学機械、工作機械、  製鉄機器、公害防止設備 ■その他各種機器のジョイント、ダクト、フランジの設計及び製造、  各種電気機関用、ディーゼル機関用タワミ風道の設計及び製造 ■シートライニング加工、各種フッ素樹脂ホース、耐蝕化学装置、  フッ素樹脂製熱交換器の製造 ■高純度薬液ヒーター、半導体製造関連のプラント及び設備の設計開発、  その他各種フッ素樹脂製品の製造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他半導体製造装置
  • 管継手
  • その他機械要素
  • 加熱ヒータ

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インライン ECV型フッ素樹脂製薬液ヒーター

ECV型フッ素樹脂製薬液ヒーター

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  • 加熱装置
  • エッチング装置
  • 加熱ヒータ

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薬液ヒーター フランジタイプ

薬液ヒーター フランジタイプ

接液部は全てPFA樹脂で出来ている 薬液ヒーター フランジタイプ 【特徴】 取り付ける槽の昇温条件、槽寸法に合わせ設計・製作いたします

  • 加熱装置
  • エッチング装置
  • その他半導体製造装置
  • 加熱ヒータ

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ロール加熱用ヒーター〈オーダーメイド品〉

熱効率が高い!温度の均一性や応答性に優れた熱媒加熱用もお客様に合わせて設計・製作致します!

『ロール加熱用ヒーター』は、シーズヒーターを応用して製作致します。 ロールと一緒にヒーターも回転する為、電源供給にはスリップリングと カーボンブラシ又は、ロータリートランスを使用。 さらに、熱効率が高く、温度の均一性や応答性に優れた熱媒加熱用も 設計製作致します。 【特長】 ■シーズヒーターを応用して製作 ■ロールと一緒にヒーターも回転 ■熱効率が高い ■温度の均一性や応答性に優れた熱媒加熱用も設計製作 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 加熱装置
  • その他ヒータ
  • 加熱ヒータ

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組込用加熱ヒータ

組込用加熱ヒータ

機器組込用加熱ヒータです。 本体は出力に対して占有容積が小さく、設計が楽になります。 加熱効率も大変良く、温度制御性や温度の上げ下げの性能は従来ヒータを凌駕します。 本機は別に加熱専用のインバータが必要です。

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  • 食品加工装置
  • 加熱ヒータ

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大型鍛造金型加熱ヒーター

特注装置の設計製作も可能!大型熱間鍛造金型の加熱・予熱・保温に適した装置です

YAC国際電熱株式会社では、『大型鍛造金型加熱ヒーター』を 取り扱っております。 短波長域の加熱方式に比べて保温性能が良いのが特長。 特注装置の設計製作もできます。 大型熱間鍛造金型の加熱・予熱・保温に適した製品です。 【特長】 ■特注装置の設計製作可能 ■短波長域の加熱方式に比べて保温性能が良い ■遠赤外線の長波長域を利用して金属内部に熱エネルギーが効率良く入る ■大型熱間鍛造金型の加熱・予熱・保温に好適 ■最高温度950℃ ■ハイパワー・ヒーターの最高温度1200℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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超純水用加熱ヒーター|スーパークリーンヒーター「QHシリーズ」

流体を汚染させること無く瞬間加熱を行うことが可能で、装置組込みや既設ラインへの組込み等、インライン設置に最適です。

流体を汚染させる事無く瞬間加熱を行うヒーター。 加熱部に高純度石英を採用

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薬液加熱ヒーター『EXS』

半導体薬液洗浄装置のインライン用!フッ素樹脂製の薬液加熱ヒーター

『EXS』は、半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーターです。 接液部分は全てPFAを使用しており、低ワット密度の設計で長寿命。 超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能です。 また、コンパクトなので設置が容易で、縦・横に設置できます。 【特長】 ■接液部分は全てPFAを使用 ■低ワット密度の設計で長寿命 ■超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能 ■コンパクトなので設置が容易 ■縦・横に設置可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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薬液加熱ヒーター『ECN』

流動変動や衝撃に強い!半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーター

『ECN』は、接液部に全てPFAを使用した半導体薬液洗浄装置の インライン用薬液加熱ヒーターです。 ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサーを内蔵し、停電等の急な シャットダウン時の温度上昇は10℃程度で、流動変動や衝撃に強いです。 また、コンパクト設計により設置が容易なほか、電気制御は既設を 有効利用できます。 【特長】 ■接液部には全てPFAを使用 ■低温ヒーター仕様で薬液を劣化させない ■ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサー内蔵 ■流動変動や衝撃に強い ■コンパクト設計により設置が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フッ素樹脂シートライニング加工 薬液ヒーター

コンパクトな設計で、従来装置への組み込み、設置が容易!様々な薬液の加温装置として利用可能

当社が取り扱う『薬液ヒーター』をご紹介します。 接液部は全てフッ素樹脂を使用していますので、様々な薬液の 加温装置として利用ができ、また不純物の溶出が皆無です。 槽外での加温を行うことにより汚染トラブルを無くし、過熱警報・ ヒーター断線・液漏れ警報装置付きで高い安全性を誇ります。 【特長】 ■様々な薬液の加温装置として利用ができ、また不純物の溶出が皆無 ■槽外での加温を行うことにより汚染トラブルを無くした ■コンパクトな設計で、従来装置への組み込み、設置が容易 ■過熱警報・ヒーター断線・液漏れ警報装置付きで高い安全性を誇る ■標準タイプとして、2KW、4.5KW、7KW、10Kwをご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 製造受託
  • 表面処理受託サービス
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シリンダヒーター

シリンダヒーター

液晶パネル製造などに使用する現像液、剥離液・溶剤の加熱に特化したヒーター 【特徴】 ○表面温度の均一性と安全対策に充分対処 ○表面温度のばらつきが少なく、温度劣化を起こす薬液の管理が容易になる ○安全を確保するため、アルミ鋳込みヒーターを採用し接液部に万一不具合が  発生しても、発熱体に影響が及ばない構造 ○温度劣化をおこす薬液には、安全な表面温度になるように設計 ○端子函は安全増し防爆構造に準拠 ●薬液槽との取り合いは、サニタリーフェルールを標準としていますが  ご要望に合わせ、JISフランジ、特殊フランジに対応可能です  お気軽にお問い合わせ下さい

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ガス分離型 面状加熱ヒーター『HFC-Ox』

均熱性に優れた面状ヒーター!

『HFC-Ox』は、C/Cコンポジット(炭素‐炭素複合材)を使用したヒーターが 石英ガラスに完全に覆われており、酸化雰囲気下で最高1,000℃までの 昇温が可能なガス分離型面状加熱ヒーターです。 主に、薄膜装置(CVD/スパッタリング等)や半導体製造装置(基板加熱/ フラッシュアニール等)への組み込みに適しています。 【特長】 ■大気中や酸化雰囲気中で1,000℃まで昇温可能 ■化学的に安定した石英ガラスを使用しており使用環境の影響を受けにくい設計 ■コンタミの発生が極めて少なくクリーンな状態で使用可能 ■ヒーターに用いるC/Cコンポジット素材は熱容量が小さく振動や衝撃及び  サーマルショックに強く速やかな昇温及び降温が可能 ■スペースを取らないコンパクトな設計 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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クリーン加熱ヒーター|「SHシリーズ」

加熱部にステンレス(SUS 316-EP処理)を採用した不活性ガス/クリーンドライエアー用ヒーター

各種乾燥装置、エアーナイフ、水切り装置等に使用されるクリーンドライエアー(CDA)、不活性ガスのクリーン加熱用に最適です。

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MFP-3D 原子間力顕微鏡用 サンプル高温加熱用ヒーター

サンプルを室温から300℃まで加熱するための温度制御アクセサリ

ポリヒーター (PolyHeater) は温度制御アクセサリで、ドライサンプルの室温から300℃までの加熱が可能になります。ポリマー研究のために特別に設計されたモジュール式の加熱ステージで、ポリマーや薄膜、その他の材料科学の研究に理想的な製品です。

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すべて特注OK!『加熱・乾燥/エアーシステム関連機器』

加熱ヒーターやエアーナイフなど「加熱技術」を用いた製品多数!MEDTEC出展

加熱・乾燥器機やエアーシステム関連機器の設計、製造、販売を手掛ける当社では、 「加熱の技術」を用いた製品を数多く扱っています。 【ラインアップ(一部抜粋)】 ■「ウエハー 加熱ヒーター」  →ヒーターの立ち上がりが非常に早く、急速高温加熱が可能  →微細な温度コントロールが可能 ■「エアーナイフ」  →ムラのない均一化されたエアーをカーテン状に吐出  →内部にヒーターを組み込むことで、均一な熱風・温風の吹き付けも可能 ■「省エネ ブロワー加速ノズル」  →エアーナイフや水切りノズルでは取り切れない水滴・液体の除去に最適  →製品の形状に合わせて設置でき、効率の良いエアー吹き付けが可能 ■「窒素・流体加熱ヒーター」  →コンパクトな設計で設置スペースを小さく抑えられる  →細管内の全長にわたりヒーターが通っているため、効率のよい加熱が可能 ※「カタログダウンロード」から総合カタログを進呈中です! ※ご要望の仕様に合った「特注品」や、  「試作機の製作」「少量多品種」にも対応可能!お気軽にお問い合わせ下さい。

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【医療機器】局所加熱ヒーター

最短半日見積り/医療用カテーテル製造装置の製作を承りました。

◎お客様     医療機器メーカー 様 ◎導入の目的   ラインの新規導入と自動化の為 ◎仕様     ・収縮チューブをヒーターで加熱         ・加熱状況をモニターで確認         ・卓上用(小型サイズ) 装置寸法(mm)/W×D×H 約800mm × 400mm × 500mm 大手製薬会社のグループ会社 様より、製造、検査装置の製作を承りました。 医療用のカテーテル(伸縮チューブ)の製造ラインの自動化の為、 オーダーの装置を設計より承りました。 装置設計から部品加工、組付け、 付帯する配電盤などの電気設計、製作まで 一連の流れをワンストップで対応します。 機能、仕様、操作性等、お客様ニーズに沿った装置製作をご提供できます。 生産設備/製造ライン、その他、装置・治具の実績は 下部の「会社案内」の「をご参照ください。 金属~樹脂までOK!試作・開発部品の切削加工はお任せください。

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すべて特注OK!『加熱・乾燥/エアーシステム関連機器』

フィルムやカーボンのような"薄い物"の「加熱・乾燥」もOK!急速高温ヒーター等

当社は、加熱・乾燥機器やエアーシステム関連機器の設計、製造、販売を手掛けており、 ご希望の仕様に合わせて、最適なカスタム品を提供出来ます。  『既設のラインに加熱工程を組み込みたいが、スペースが狭い...』  『加熱・乾燥ヒーターの試作機を作って欲しい...』などのご要望にも、ヒートテックならお応え出来ます。     また、"フィルム / カーボン / 炭素繊維"などの薄い素材の「加熱・乾燥」もお任せ下さい! 【ヒートテックの主力製品をご紹介】 ■「ハロゲン 急速加熱ヒーター」  →ヒーターの立ち上がりが非常に早く、急速高温加熱が可能  →微細な温度コントロールが可能 ■「エアーナイフ」  →ムラのない均一化されたエアーをカーテン状に吐出  →内部にヒーターを組み込むことで、均一な熱風・温風の吹き付けも可能 ■「熱関連装置」  ・シート材料 加熱及び形状加工装置  ・シート材料 エンボス加工補助ヒーター  ・自動加熱炉 900℃  ・加熱成形炉 900℃ ※製品の詳細は、「カタログダウンロード」から総合カタログを進呈中です!

  • その他ヒータ
  • その他
  • 加熱ヒータ

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過熱蒸気式再加熱カート

過熱蒸気で、料理を優しくつつみます

本製品は、過熱蒸気採用による、全く新しいシステムで食事の適温 サービスを実現する再加熱カートです。 過熱蒸気によりご飯がふっくら仕上がるので、ご飯の後付が不要。 また、過熱蒸気で過熱することで乾燥が少なく、できたての風味を提供 します。 安全で品質の高い料理を提供することにより、施設のホスピタリティ 向上をはかります。 【特長】 ■ご飯の先付け対応 ■料理のおいしさをキープ ■消費電力 ■格段の温度差が僅か ■コンパクトな設計 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 配膳カート
  • その他 食品運搬・配膳
  • 加熱ヒータ

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過熱蒸気式再加熱カート

過熱蒸気で料理を優しくつつみます

本製品は、過熱蒸気採用による、全く新しいシステムで食事の適温 サービスを実現する再加熱カートです。 過熱蒸気によりご飯がふっくら仕上がるので、ご飯の後付が不要。 また、過熱蒸気で過熱することで乾燥が少なく、できたての風味を提供 します。 安全で品質の高い料理を提供することにより、施設のホスピタリティ 向上をはかります。 【特長】 ■ご飯の先付け対応 ■料理のおいしさをキープ ■消費電力 ■格段の温度差が僅か ■コンパクトな設計 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 配膳カート
  • その他 食品運搬・配膳
  • 運搬・配膳車
  • 加熱ヒータ

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過熱水蒸気を600℃で循環可能!【KCS-8078/600】

過熱水蒸気を600℃で循環可能な過熱水蒸気循環装置です。設置届やボイラー資格は不要ですので、資格者が不在でも運用可能です。

■過熱水蒸気を循環して600℃にて循環可能 ■低圧(0.1MPa以下)にて循環するため  配管や、対象物の耐圧設計不要 ■ボイラーや軟水化装置等の  特別なユーティリティーは必要ありません ■設置届やボイラー資格は不要 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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瞬間加熱ヒーター 「インラインヒーター(高流量型)」

金属イオンの溶出等で対象の液体を汚染させる事の無い瞬間加熱ヒーター

瞬間加熱ヒーター「インラインヒーター(高流量型)」は、取扱い時の安全性が高く、接液部は全てPTFEで半導体部品に影響を与える金属イオンの溶出等で対象の液体を汚染させる事の無い瞬間加熱ヒーターです。インラインタイプですので、液溜まりもありません。標準品はMAX5L/min △40℃ですがご要望により設計致します。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

  • 加熱装置
  • その他
  • 加熱ヒータ

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シリンダータイプヒーター(円筒) 

シリンダータイプヒーター(円筒) 

シリンダータイプヒーター(円筒)  耐熱ヒーターカンタルA-1を使用した、断熱材と一体化した高負荷タイプの 円筒形モジュールヒーターです。

  • その他ヒータ
  • 電気炉
  • 酸化/拡散装置
  • 加熱ヒータ

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【技術コラム】ロータリーキルン炉とは?構造や設計、温度別の用途

ロータリーキルンの基本的な構造や特長、種類、活用事例などをわかりやすく解説します!

近年、スマートフォンや電気自動車の普及拡大に伴って「自社の熱処理炉だと、 処理後に焼きムラが起きて困っている。」「ロータリーキルンを導入したい けれど、どのような特長があるのか知りたい。」といった悩みや疑問を 持っているエンジニアの方が多くいらっしゃると思います。 ロータリーキルンは粉体材料の熱処理炉で、製造業向けの鉄や亜鉛などの 金属材料といった幅広い分野で利用されています。 一般的な熱処理炉に比べて焼きムラが少ない、製造工程の省力化が可能などの メリットがあります。 当記事ではロータリーキルンの基本的な構造や特長、種類、活用事例などを わかりやすく解説します。 ※コラムの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。  詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マルチ破砕機『1軸剪断式破砕機』

廃プラ・古紙・ペットボトル・家電・建築廃木材等の破砕に

『1軸剪断式破砕機』は、廃タイヤ・建築廃材などをそのまま投入し破砕するタイプです。サイズ・量に合わせてご希望の機種が選べます。 【破砕品目】 廃プラ・生ゴム・布団・畳・絨毯・古紙・ロール状フィルム・プリント基盤・多軸電線・樹脂アルミ・ペットボトル・豚・牛・魚介類・パレット・建築廃木材等 【特長】 ■電気コストに配慮して、モーター馬力・消費電力も小さく設計 ■強靱な低速回転による連続剪断方式のため破砕時の衝撃が小さく機械に無理がかからない ■損傷や摩耗が少なく回転刃は四隅がローテーションでき、その裏側も使用できる ■小型、軽量でローターに設けた1本のボルトで装着されているため寿命が長く、ランニングコストも低く、交換も非常に簡単 ■破砕物を連続的に喰込み、最小限のロスで確実に粉砕 ■回転刃下のスクリーン(アミ)は希望粒度にて交換できる

  • 塑性加工機械(切断・圧延)
  • 加熱ヒータ

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TG BRAND 2022 製品ダイジェスト

積み重ねてきたのは“価値ある製品の創造”!当社の創造マネージメント型製品をぜひご検討ください

当カタログは、谷口ヒーターズが取り扱う、優れた電熱効率と耐久性を備えた薬液加熱ヒーターと自動液温度調節器から成り立つ製品をご紹介しています。 本体は、当社独自の“TGコア技術”を基礎として「お客様に見えるところの安心安全」とともに「お客様に見えないところの安心安全」にも配慮した“本質安全設計”。 「品質に信用ある薬液加熱ヒーター」をはじめ、「デジタル自動液温度調節器」や、「TG安心安全液加熱マネージメントシステム」などをラインアップしています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容(抜粋)】 <日本国内向> ■品質に信用ある薬液加熱ヒーター ■デジタル自動液温度調節器 ■TG安心安全液加熱マネージメントシステム ■省エネ・熱関連品 ■ヒーターの谷口が作るドライヤー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他ヒータ
  • その他安全機器
  • 加熱装置
  • 加熱ヒータ

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マルチ破砕機『横剪断式破砕機4軸/2軸』

洗濯機・大型冷蔵庫・タイヤ・廃木材・廃プラ等の破砕に

『横剪断式破砕機4軸/2軸』は、廃タイヤ・建築廃材などをそのまま投入し破砕するタイプです。横4軸剪断回転式は、上下の2段式カッター4軸のため破砕物がより細かくなります。サイズ・量に合わせてご希望の機種が選べます。 【破砕品目】 洗濯機・大型冷蔵庫・テレビ・タイヤ・FRP風呂桶・廃木材・節渣・廃プラ・その他各種産業廃棄物 【特長】 ■電気コストに配慮して、モーター馬力・消費電力も小さく設計 ■強靱な低速回転による連続剪断方式(4軸・2軸)のため破砕時の衝撃が小さく機械に無理がかからない ■硬質・軟質・延性・脆性など、雑種多様に適応できる万能タイプ ■騒音・振動にも配慮されていて二次公害がなく、衝撃・発熱の小さいメカニズムで、引火や爆発などに対しても安心 ■メンテナンスが非常に簡単 ■全機種に油圧駆動の特別仕様(オプション)有り

  • 塑性加工機械(切断・圧延)
  • 加熱ヒータ

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高温加熱用ヒーター製品「予熱くん」カスタマイズ対応します

加熱・高温保持についてお困りの方必見!「カスタマイズ対応」加熱装置をご紹介※デモ機貸出・昇温、制御カスタマイズ事例集進呈!

こんなご要望はありませんか? 「金型の焼きバメ作業に使いたい」「~650℃で高温加熱したい」 「溶接用途で、徐冷もできる高温ヒーターを探している」 「加熱ヘッドの形状、素材をカスタマイズして欲しい」 「制御仕様をカスタマイズして欲しい」「パトライトを付けたい」 「専用台車も作りたい」など。 当製品は、昇温速度が速く、火を使わないので安全・安心です。 小型機であれば、数分で650度に到達します。 また頑丈ですので、現場向きです。 【特長】 ■低温から高温まで、おまかせ加熱 ■好適温度に加熱保持 ■ご指定の箇所(金型の形状部など)で温調も可 ■タイマーセットで快適作業 ■丈夫で長持ち ■制御・加熱ヘッド形状のカスタマイズ対応可 ■台車とセットでの設計ご提供も可能 デモ機で試用頂いての仕様決めが可能のため、確実安心です。 ※デモ機は小型200X350mm~大型650X800mmまで取り揃えております。 まずはご連絡下さい。 ※セラミックのボディなど特殊仕様も御相談承ります。

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新日電熱工業株式会社 ラインアップ紹介<資料進呈>

プラグヒーター、シーズヒーターなど各種ヒーターを展開。関連データ付き資料を進呈中

当社は、電熱技術のスペシャリストとしてプラグヒーターやシーズヒーター、 アルミ鋳込みヒーターなど設計・製造を手掛けております。 幅広いラインアップの中から、液体・気体・固体など 被加熱物に適したヒーターの選択が可能です。 【ラインアップ(抜粋)】 ◎プラグヒーター ■直接液体の中に投入して使用でき、水加熱、薬液加熱、油加熱等が容易 ■タンクに取り付けたネジ部分に差し込むだけで使用可能 ◎シーズヒーター ■液体や気体などの被加熱物に直接触れる構造で加熱が可能 ■ヒーター長:6000mm(エレメントストレート時の最大長) ◎フランジヒーター ■被加熱物が流れる管の中に直接、有効発熱部が挿入できる構造 ■タンクやパイプ内の圧力や規格の範囲で大容量の電気容量を確保可能 ◎サーキュレーションヒーター ■配管の途中に設置して効率よく安全に加熱できる構造 ■使用する用途によっては圧力容器規格に該当するものも製作可能 ★現在、ヒーターに関連したデータ付き資料を配布中。  お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • その他ヒータ
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BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃

PVD、CVDなどの薄膜実験用基板加熱ヒーター均一性・昇温特性・制御性に優れたヒーターです。RF/DCバイアス仕様も可能。

高真空対応 多彩なヒーター材質オプション。 PVD(スパッタ、蒸着、EB等)、CVDなどの各種真空薄膜実験、高温真空アニール、高温試料解析用基板ステージ、などに応用いただけます。 様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。 【特徴】 ●セミカスタム製品です。ご要望に応じて設計製作いたします。 ●予備ヒーター素線との交換が容易 ●設置、メンテナンスが容易(M6スタッドボルト、支柱) ●RF/DCバイアス、基板回転などにも対応 【標準付属品】 ● 熱電対:素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き ● 取付用スタッドボルト 【オプション】 ● RF(150W)/DC(1KW)バイアス印加 ● 標準外ヒーター素線(Nb, Mo, Pt/Re, WRe他) ● 基板保持クリップ ● 取付ブラケット ● 基板ホルダー ● ホルダー設置用タップ穴加工 ● トッププレート材質変更(PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他) ● 過昇温用追加熱電対 ● ベースフランジ、真空導入端子

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◆HTEヒーター◆ 高真空るつぼ加熱ヒーター Max1500℃

真空用 高温るつぼ加熱ヒーター。有機蒸着源 800℃、金属蒸着源 1500℃、としても利用できるバーサタイルなヒーターユニット

HTEヒーターは最高使用温度は1500℃の超高温真空用加熱ヒーターユニットです。 蒸発温度の高い材料も使用することができますので、有機EL等の低温有機蒸着(~ 800℃)・高温抵抗加熱蒸着(~ 1500℃)など、真空蒸着成膜用としても様々な用途に応用いただけます。真空成膜用蒸着ソースとしてお使いの場合はシャッター・アクチュエータも追加可能。 800℃以上の高温ヒーターとしてお使いの場合は、内部シールド構造を備え、断熱・熱遮蔽を考慮した設計。 シャッターはフリップ式を採用。チャンバー内に複数の蒸着ソースを設置しても他のコンポーネントに干渉することがありません。 上部キャップを外すだけで坩堝を取り出すことができますので、材料の充填・補充作業に手間がかかりません。 本体部は、1cc 坩堝用(最大充填量1.5cc)、10cc 坩堝用(最大充填量15cc)があり、固定ベースをチャンバーから外さず本体ボディをベースに差し替えるだけで交換することが可能。 熱電対は2 種類、K タイプ、C タイプのいずれかをご指定いただけます。 るつぼ:アルミナ(標準)、石英、PBN、カーボンが選択できます。

  • 蒸着装置
  • 加熱装置
  • 電気炉
  • 加熱ヒータ

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