半導体検査装置 PCP-102SL
XY位置補正でステージインデックス、初期設定、温度などによるコンタクトの累積誤差を解消!
PCP-102SLは、通常のウェハの他に、薄層ウェハの検査を実現するために開発されたプローバです。 カセットからの自動搬送、プリアライメント、ファインアライメント、プロービング(検査)を行います。 【特長】 ■ステージインデックス、初期設定、温度などによるコンタクトの累積誤差を解消します。 ■マルチプロービング検査は、検査工程のスループットを飛躍的に向上させます。 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧ください
- 企業:株式会社プラムファイブ
- 価格:応相談