ウェーハ厚さ仕分け機（WTS-01,02型）
シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です
ツインアームロボットを使用することにより効率的な動作が可能になり短時間処理が可能になりました。 測定データはExcelファイルに自動保存します。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
厚さ仕分機 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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サファイアウェーハ厚さ仕分け機（WTS-05型）
サファイアウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じたソーティングを行う装置です。
仕分けすることにより厚さ異常のウェーハが次工程に流出することを防ぎます。 ウェーハ加工前後で厚さを測定することにより加工状態の管理も行えます。 また、カセットごとの厚さをそろえることにより、次工程での加工品質が向上します。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
ウェーハ厚さ仕分け機（WTS-03型）
シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です。
排出ステージを2箇所にすることにより、短時間処理が可能になりました。 測定データはExcelファイルに自動保存します。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
ウェーハ厚さ仕分け機（WTS-04型）
シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です。
ステージを3段式にする事で、より多くのウェーハ処理が可能となりました。 測定データはExcelファイルに自動保存します。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
